디지털 적외선 건조기 컨트롤러
클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100 청정실을 운영하고 있다면, 입자가 발생하는 문제가 얼마나 심각한지 잘 알고 있을 것입니다. 저품질의 히팅 코일이나 램프에서 나오는 작은 입자들 때문에 웨이퍼나 고정밀 광학 부품들이 망가질 수 있습...
근적외선(NIR) 웨이퍼 건조기
팹에서는 잘 알려진 원리가 적용됩니다. 웨이퍼가 세정 공정을 거친 후에도 여전히 미세한 양의 물이 남아 있습니다. 이러한 수분을 제거하는 데에는 몇 분이 걸리며, 매분마다 처리 시간이 늘어납니다. 게다가 균일하지 않은 가열으로 인해 열응력이 발생하여 패턴의 정렬이 어...
카세트 청소용 적외선 건조기
제조 공장에서는 습한 카세트가 단순히 생산 속도를 늦추는 요인에 그치지 않습니다. 오히려 오염이 발생할 수 있는 위험한 요소가 됩니다. 남아 있는 수분은 표면 결함을 유발하며, 단 한 방울의 물만으로도 생산 효율이 크게 저하될 수 있습니다. 일반적인 건조 방식은 열차...
웨이퍼 캐리어 세척 건조기
300mm 라인에서의 작업 습식 벤치에서 캐리어가 나오면 미세한 양의 DI 물이 감 trapped 되어 있는 상태를 아실 것입니다. 이 습기를 반복적으로 건조한 상태로 낮추지 않으면, 부드러운 베이킹 과정에서 포토레지스트로 이동합니다. CD 허용 오차가 변동하고 결함...
신발 건조기 히터
이 신발 건조기 히터에 대해 말씀드리자면—우리는 아주 특정한 문제를 해결하기 위해 이 제품을 만들었습니다: 필요한 곳에 빠르게 강한 열을 전달하면서도 공간을 많이 차지하지 않는 방법이었죠.
그래서 우리는 컴팩트하면서도 고강도 할로겐 튜브를 선택했습니다. 이걸 작업의...