팹 램프용 교체 필라멘트

팹 내에서는, 소프트 베이크 과정에서 온도가 0.2°C만큼 변해도 그 차이를 느낄 수 있습니다. 이때 포토레지스트의 두께도 변하기 시작하고, 결국 제품의 성능에 지장이 생깁니다. 램프는 열처리 공정의 핵심 요소입니다. 램프의 작동이 불안정해지면, 에너지는 장비의 성능...