왜 바이오센서의 절연 테스트에 그토록 집착하는가? 바이오센서를 제작할 때 가장 어려운 단계는 소성 및 건조 과정입니다. 이때 정확한 온도가 필요하기 때문에, 우리는 전용 적외선 램프를 사용합니다. 하지만 문제는, 고정밀 장비에서는 아주 미세한 전류 누수라도 치명적일...

클래스 100의 청정실에서 가열할 때도 그곳을 계속 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 환경에서 생체센서를 제작할 때는 매우 신중해야 합니다. 아주 작은 먼지 한 알만 있어도 전체 제품이 폐기되고 맙니다. 문제는 가열이 필요할 때부터 시작됩니다. 일반적인 가열 요소...

클래스 100 청정실에서 작업할 때는 오차의 여지가 전혀 없습니다. 아주 작은 먼지 입자나 화학 물질의 증기라도 있으면, 생물 센서들이 순식간에 망가질 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 그래서 우리는 재료 선택에 매우 신중합니다. 적외선 램프로는 고순도의 합성...

클린룸의 적외선 램프를 안전하게 보호하기 (그리고 실험실을 세균으로부터 보호하기) 클린룸에서 작업할 때는 “거의”라는 말로는 충분하지 않습니다. 아주 작은 전기적 오류나 약간의 오염만으로도 모든 것이 엉망이 될 수 있습니다. 저희가 만드는 적외선 램프들은 엄청난 열에...

혼란스러운 화학적 환경에서도 UHP 히터를 안전하게 보호하는 방법 만약 화학물질 청소 공정에 적외선 히터를 사용한다면, 그 위험성을 잘 알고 있을 것입니다. 가연성 용매와 부식성 증기들이 있기 때문에, 이러한 환경에서는 장비가 손상될 수 있습니다. 일반적인 램프로는...

왜 우리는 적외선 램프의 절연 성능을 꼭 테스트해야 하는가? 중장비용 적외선 램프를 제작할 때, 제대로 작동하는 히터와 완전히 고장 난 히터 사이의 차이는 단 몇 마이크론에 불과합니다. 이는 매우 작은 수치입니다. 그래서 우리는 ‘batch sampling’ 방식을...

도구의 열 방출을 막는 방법 대부분의 적외선 램프는 열을 모든 방향으로 방출합니다. 360도로 에너지가 퍼져나가죠. 반도체 칩이 작은 경우에는 이는 큰 문제가 됩니다. 그 결과, 내부 벽면이 극도로 뜨거워집니다. 이는 기계를 조작하는 사람에게 있어 안전 위험일 뿐만...

왜 금 도금된 적외선 램프가 반도체 공장에 반드시 필요한지 반도체 공장에서는 온도가 조금이라도 틀어지면 생산 효율이 크게 떨어집니다. 그렇게 간단한 원리입니다. 웨이퍼 가공이나 포토레지스트 건조와 같은 과정에서 정밀한 온도 제어가 필요하기 때문에, 우리는 금 도금된...

적외선 경화 기술을 활용해 제조 공정을 진정으로 “스마트”하게 만들어보세요. 현대식 제조 설비를 계획한다면, 구식의 대류식 가열 방식은 더 이상 효과적이지 않다는 것을 아실 것입니다. 속도가 느리고 에너지 낭비도 심합니다. 그래서 우리는 정밀한 적외선 시스템을 사용합...

바이오센서 제작 시 적절한 열 조절 방법 바이오센서를 제작할 때 열은 매우 중요한 요소입니다. 기판을 경화시키고 화학적 층들을 활성화시키기 위해서는 충분한 에너지가 필요하지만, 너무 많은 열을 가하면 유기 화합물들이 손상됩니다. 따라서 적절한 균형을 맞추는 것이 중요...

카본 파이버 IR 램프로 “오븐 효과”를 막는 방법 대부분의 적외선 히터는 열을 사방으로 방출하기 때문에 다소 번거롭습니다. 반도체 제조 공장에서 이런 히터를 사용한다면, 장비의 벽면들이 위험할 정도로 뜨거워질 수 있습니다. 우리는 카본 파이버 IR 램프를 사용하여...

오존이 없는 IR 램프가 퓨즈를 파손하지 않도록 하기 위한 방법 오존이 없는 IR 램프는 185nm 파장의 빛을 차단해주기 때문에 매우 유용합니다. 이로 인해 오존의 냄새나 그로 인한 위험도 없어집니다. 하지만 빛의 출력이 중요하긴 하지만, 진정으로 중요한 것은 전기...

IR 가열과 핫에어: 웨이퍼를 더 빠르게 건조하는 방법 반도체 가공 과정에서는 시간이 매우 중요합니다. 세척 후에 여전히 강제로 열공기를 사용해 웨이퍼를 건조시킨다면, 결국은 공기가 열을 웨이퍼 표면까지 전달할 때까지 기다리는 것에 불과합니다. 이는 매우 느린 과정입...

포토레지스트에 적합한 최고의 적외선 램프를 선택하는 방법: 현장 엔지니어를 위한 가이드 광고성 문구는 생략하고, 핵심만 말하겠습니다. 우리가 이 적외선 램프를 만든 이유는 단 하나입니다. 바로 반도체 제조 공정에서 포토레지스트가 필요로 하는 정확한 열 분포를 제공하기...

연료전지의 촉매층은 매우 얇고 전도성이 있으며, 열에 민감합니다. 한 곳만 과열되거나 가열 속도가 느려지면 촉매의 형태가 변하게 됩니다. 그 결과 접촉 저항이 증가하여 스택의 성능이 떨어집니다. 따라서 리소그래피 공정과 같은 방식으로 촉매를 건조시켜야 합니다. 즉,...

300mm 웨이퍼를 가공할 때, 포토레지스트를 건조하는 과정에서 반도 정도의 온도 변동만 있어도 전체 생산물이 폐기될 수 있습니다. 우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 이러한 반도체용 적외선 가열램프를 개발했습니다. 단순한 홍보용이 아니라, 실제 제조 환경에서도 안정...

팹 내에서는, 소프트 베이크 과정에서 온도가 0.2°C만큼 변해도 그 차이를 느낄 수 있습니다. 이때 포토레지스트의 두께도 변하기 시작하고, 결국 제품의 성능에 지장이 생깁니다. 램프는 열처리 공정의 핵심 요소입니다. 램프의 작동이 불안정해지면, 에너지는 장비의 성능...

리소그래피 층에서 소프트 베이크에 여유를 주어서는 안 됩니다. 목표 온도에서 0.5°C만 벗어나도 포토레지스트 두께가 사양에서 벗어나고, 그 사이에 에칭 윈도우가 줄어들게 됩니다. 오븐 램프는 단순한 열원이 아니라 반복 가능한 열 프로세스입니다. 우리는 이 램프를 석...