장수명 적외선 가열관

리소그래피 공정에서는 300mm 웨이퍼가 단순히 히터가 작동할 때까지 그대로 있을 수 없습니다. 소프트 베이크와 하드 베이크라는 방법을 통해 온도를 제어하는데, 만약 온도에 변동이 생기거나 균일하지 않다면 선폭 제어가 제대로 이루어지지 않습니다. 우리는 이러한 변동성...