왜 웨이퍼 처리에 금 코팅을 사용하는가? 클린룸 오븐을 만들 때 진짜 어려운 점은 단순히 열을 높이는 것이 아닙니다. 중요한 것은 그 열이 정확히 원하는 곳으로 가도록 하는 것입니다. 만약 실리콘 웨이퍼를 가열할 때 에너지가 목표물이 아닌 오븐의 다른 부분으로 흘러간...

리소그래피 층에서 소프트 베이크에 여유를 주어서는 안 됩니다. 목표 온도에서 0.5°C만 벗어나도 포토레지스트 두께가 사양에서 벗어나고, 그 사이에 에칭 윈도우가 줄어들게 됩니다. 오븐 램프는 단순한 열원이 아니라 반복 가능한 열 프로세스입니다. 우리는 이 램프를 석...