에너지 절약형 반도체 히팅
화학적 세척 공정에서 열을 공급할 때, 폭발을 방지하는 것이 매우 중요합니다. 반도체 세척 작업을 할 때는 휘발성 용매와 인화성 증기들과 함께 작업하게 되는데, 이러한 환경에서는 일반적인 적외선 램프는 단순한 도구가 아니라 오히려 위험 요소가 됩니다. 작은 스파크나...
공장 건조 공정의 에너지 감사
왜 IR 경화가 친환경 반도체 제조에 최적인 방법인가?
반도체 공장의 에너지 사용량을 점검할 때마다 항상 문제가 되는 것은 바로 대류식 오븐입니다. 이러한 오븐들은 엄청난 양의 에너지를 소비합니다. 웨이퍼 위의 미세한 코팅층을 말리기 위해 거대한 금속 챔버를 가열해야...