화학적 세척 공정에서 열을 공급할 때, 폭발을 방지하는 것이 매우 중요합니다. 반도체 세척 작업을 할 때는 휘발성 용매와 인화성 증기들과 함께 작업하게 되는데, 이러한 환경에서는 일반적인 적외선 램프는 단순한 도구가 아니라 오히려 위험 요소가 됩니다. 작은 스파크나 과열된 표면만 있어도 큰 문제가 생길 수 있습니다.
그래서 저희는 그냥 램프만 판매하는 것이 아니라, 시설이 화재로 변하지 않도록 특별히 설계된 가열 시스템을 제공합니다.
화재를 통제하는 방법 저희는 램프를 그냥 플라스틱으로 감싸는 것에 그치지 않습니다. 이중 층 구조의 밀폐 장치를 사용합니다. 이는 마치 보호용 껍질과 같아서, 석영 소재의 내부 장치가 내부에 있고, 그 위에는 내화성이 뛰어난 외부 커버가 있습니다. 이렇게 하면 열과 공기 사이에 물리적인 장벽이 형성됩니다. 만약 화학물질이 새어나오더라도, 증기는 뜨거운 필라멘트나 전기 연결 부분에 닿지 못합니다.
또한, 전선이 램프 안으로 들어가는 부분도 신경 써야 합니다. 이 부분이 가장 취약한 부분이기 때문입니다. 저희는 특수한 가스켓과 난연성 접착제를 사용하여 그 간극을 꽉 막아줍니다. 그렇게 하면 아무런 가스도 들어올 수 없습니다.
안전과 성능의 균형 저희의 목표는 화학적 세척 공정의 온도를 일정하게 유지하면서도 용기의 벽이 손상되지 않도록 하는 것입니다. 짧은 파장의 광원을 사용함으로써 액체 속으로 빠르게 열을 전달할 수 있습니다.
하지만 안전을 위해서는 어느 정도의 희생이 필요합니다. 보호용 커버가 추가되면서 열源과 대상물 사이에 더 많은 재료가 생깁니다. 그 결과, 일반적인 전구에 비해 효율이 조금 떨어집니다. 그래서 그 손실을 보완하기 위해 더 높은 전력이 필요할 수 있습니다.
이것이 타협점일까요? 물론입니다. 하지만 이 방법이 다른 대안보다는 훨씬 낫습니다.
램프를 작동시키고 유지하는 방법 아무도 램프가 고장 나서 생산 라인이 멈추는 것을 원하지 않습니다. 저희는 램프를 빠르게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 하우징은 간단하게 교체할 수 있어서, 빠르게 작업을 재개할 수 있습니다.
설치할 때 몇 가지 주의사항이 있습니다. 전선이 해당 전력을 감당할 수 있는지 확인해야 합니다. 그리고 반드시 환기를 잘 해주어야 합니다. 증기가 하우징 주위에 쌓이지 않도록 해야 합니다. 만약 오물이 쌓이면 ‘핫 스팟’이 생기고, 그로 인해 밀폐 장치가 손상될 수 있습니다. 깨끗하게 유지하고 환기를 잘 해주면 문제없습니다.