열을 낭비하지 마세요. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 모든 와트가 중요합니다. 문제는, 일반적인 석영 램프는 에너지를 사방으로 방출한다는 점입니다. 360도 전방위로 에너지가 퍼져나가기 때문에, 결국 기계의 케이스를 가열하는 데 비용이 들 뿐, 실제 웨이퍼를 가열하는...

머리 아픈 수리 없이 적외선 부품을 교체하기 5년간 계속 사용한 후에 적외선 히터가 고장나면, 교체용 부품의 가격이 문제가 되는 것이 아닙니다. 진짜 문제는 정지 시간, 생산 손실, 그리고 스트레스입니다. 그래서 저희는 IP65 등급의 히터를 모듈형으로 설계했습니다....

화학적 세척 공정에서 열을 공급할 때, 폭발을 방지하는 것이 매우 중요합니다. 반도체 세척 작업을 할 때는 휘발성 용매와 인화성 증기들과 함께 작업하게 되는데, 이러한 환경에서는 일반적인 적외선 램프는 단순한 도구가 아니라 오히려 위험 요소가 됩니다. 작은 스파크나...

불편함 없이 습한 공간을 따뜻하게 만드는 방법 추운 탈의실이나 습한 스파 공간에 들어가보신 적이 있다면 그 느낌을 잘 아실 것입니다. 단순히 추위 때문만은 아니라, 무겁고 습한 공기가 마치 뼛속까지 스며드는 것 같습니다. 이러한 공간을 따뜻하게 만들 때는 공기 자체를...

300mm 웨이퍼를 가공할 때, 포토레지스트를 건조하는 과정에서 반도 정도의 온도 변동만 있어도 전체 생산물이 폐기될 수 있습니다. 우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 이러한 반도체용 적외선 가열램프를 개발했습니다. 단순한 홍보용이 아니라, 실제 제조 환경에서도 안정...

리소그래피 공정에서는 300mm 웨이퍼가 단순히 히터가 작동할 때까지 그대로 있을 수 없습니다. 소프트 베이크와 하드 베이크라는 방법을 통해 온도를 제어하는데, 만약 온도에 변동이 생기거나 균일하지 않다면 선폭 제어가 제대로 이루어지지 않습니다. 우리는 이러한 변동성...

Out on the fab floor, you know how quickly a 0.5°C drift in bake temperature can throw off a photoresist profile. One particle spike, and you’re...