MEMS 웨이퍼를 고통 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서를 제작할 때 가장 큰 적은 바로 수분입니다. 하지만 단순히 열을 가하는 것만으로는 충분하지 않습니다. 과도한 열應력이나 약간의 오염만 있어도 값비싼 웨이퍼가 쓸모없는 것으로 변해버립니다. 그래서 우리는 고출력...

왜 IR 경화가 친환경 반도체 제조에 최적인 방법인가? 반도체 공장의 에너지 사용량을 점검할 때마다 항상 문제가 되는 것은 바로 대류식 오븐입니다. 이러한 오븐들은 엄청난 양의 에너지를 소비합니다. 웨이퍼 위의 미세한 코팅층을 말리기 위해 거대한 금속 챔버를 가열해야...

연료전지의 촉매층은 매우 얇고 전도성이 있으며, 열에 민감합니다. 한 곳만 과열되거나 가열 속도가 느려지면 촉매의 형태가 변하게 됩니다. 그 결과 접촉 저항이 증가하여 스택의 성능이 떨어집니다. 따라서 리소그래피 공정과 같은 방식으로 촉매를 건조시켜야 합니다. 즉,...

MEMS 웨이퍼가 마지막 린스 단계에서 나오고 있는 모습을 관찰하라. 건조 히터가 제 역할을 하지 못하면 워터마크가 생기고, 이후 포토레지스트 부착이 불량해지며, 측정 단계에 이르기도 전에 해당 로트는 폐기된다. 우리는 이러한 변동성을 제거하기 위해 MEMS 웨이퍼...

겨울이 사무실에 찾아오면 익숙한 상황이 반복된다. 두꺼운 스웨터를 겹겹이 입고, 외풍이 스며들며, 끊임없이 코를 훌쩍이는 소리가 배경처럼 깔린다. 사람들이 추위를 느끼면 몸을 움찔거리게 되고 집중력이 떨어지며 하루가 길게 느껴진다. 적외선 의류 건조 히터는 이러한 문...

라인 상에서 드리프트는 허용되지 않는다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 단 몇 분의 1도라도 벗어난 소프트 베이크는 포토레지스트 프로필에 나타난다—엣지 비드, 두께 구배, 그리고 규격에서 벗어나는 라인폭 제어가 그것이다. 세정 직후 건조 단계는 잔류 수분과 미세 액적 자국이 수...