웨이퍼 캐리어 세척 건조기

300mm 라인에서의 작업 습식 벤치에서 캐리어가 나오면 미세한 양의 DI 물이 감 trapped 되어 있는 상태를 아실 것입니다. 이 습기를 반복적으로 건조한 상태로 낮추지 않으면, 부드러운 베이킹 과정에서 포토레지스트로 이동합니다. CD 허용 오차가 변동하고 결함...