자동 웨이퍼 건조 히터

라인 상에서 드리프트는 허용되지 않는다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 단 몇 분의 1도라도 벗어난 소프트 베이크는 포토레지스트 프로필에 나타난다—엣지 비드, 두께 구배, 그리고 규격에서 벗어나는 라인폭 제어가 그것이다. 세정 직후 건조 단계는 잔류 수분과 미세 액적 자국이 수...