반도체 클린룸용 트롤리 히터

와퍼를 깨끗하게 유지하기: 트롤리 히터의 안전성에 대한 현실 대량 생산이 이루어지는 반도체 공장에서는, 아주 작은 실수라도 모든 것을 망칠 수 있습니다. 예를 들어, 트롤리 위에서 적외선 램프가 파손된다고 가정해 보세요. 그러면 유리 조각과 화학 물질들이 와퍼 위로...