دیگر اجازه ندهید انرژی خود را هدر دهید!
وقتی که در حال گرم کردن ویفرهای سیلیکونی هستید، هر وات انرژی اهمیت زیادی دارد.
مشکل اینجاست که لامپهای کوارتز استاندارد، انرژی را در تمام جهات پخش میکنند؛ یعنی در واقع شما برای گرم کردن بدنه دستگاه، پول خرج میکنید، نه سطح ویفر. این یک هدررفت انرژی است.
برای رفع این مشکل، از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. این روش سادهای از فیزیک است؛ ما انرژی را به سمت ویفر هدایت میکنیم.
تنظیم درست فوکوس
طلا بهترین گزینه برای این کار است؛ زیرا موجهای مادون قرمز را بهتر از هر چیز دیگری منعکس میکند. با قرار دادن لامپ در یک حفره پوشیده شده با طلا، میتوانیم انرژی را در یک پرتو متمرکز درآوریم.
دیگر هیچ اتلاف انرژی در لبهها وجود ندارد؛ شما میتوانید میزان گرمای تولید شده در هر سانتیمتر مربع را افزایش دهید؛ این کار باعث میشود دمای مورد نظر را خیلی سریعتر به دست آورید.
اما باید مراقب فاصله لامپ با سطح ویفر باشید؛ اگر لامپ را خیلی نزدیک قرار دهید، نقاط گرم روی ویفر ایجاد خواهد شد؛ اگر فاصله زیاد باشد، انرژی تضعیف خواهد شد و شما مجبور خواهید بود ولتاژ را افزایش دهید تا انرژی کافی برای گرم کردن ویفر فراهم شود. این کار میتواند به لامپ آسیب برساند. ما زمان زیادی را صرف تنظیم فوکوس لامپ میکنیم تا پرتو انرژی به درستی روی سطح ویفر بتابد.
توازن بین کارایی و هزینه
این روش، روشی نیست که بتوان آن را برای تمام دستگاهها استفاده کرد؛ زیرا این بازتابندهها انرژی را خیلی خوب تمرکز میکنند، بنابراین لامپ در واقع گرمتر از یک سیستم باز عمل میکند. نمیتوانید از سیستمهای خنککننده چشمپوشی کنید؛ چه از فنها و چه از سیستمهای آبی، باید مطمئن شوید که آنها میتوانند بار حرارتی اضافی را تحمل کنند.
اگر سیستم خنککننده کار نکند، رشتههای الکتریکی لامپ در عرض چند ساعت خراب خواهند شد؛ این قیمت سنگینی برای کارایی است.
چرا ارزشش را دارد؟
وقتی که این روش کار میکند، کار بسیار آسان میشود؛ شما برای رسیدن به دمای مورد نظر، انرژی کمتری مصرف میکنید؛ این کار فشار روی منابع تأمین انرژی را کاهش میدهد. همچنین، کل سیستم گرمایشی نیز میتواند کوچکتر باشد.
برای مهندسان، این روش باعث میشود زمان رسیدن به دمای مورد نظر کوتاهتر شود و اعتماد به سیستم گرمایشی نیز افزایش یابد. این روش، روشی بهتر برای گرم کردن ویفرها است.