چرا ما از روش خشککردن با امواج مادون قرمز برای نیمههادیهای بدون سرب استفاده کردیم؟
بیایید صادق باشیم: آن فرهای قدیمی واقعاً دردسرساز هستند. وقتی صنعت به سمت استانداردهای بدون سرب برای تولید ویفرها رفت، مجبور شدیم همه چیز را دوباره در نظر بگیریم. دیگر سعی نکردیم کل اتاق را گرم کنیم، بلکه از روش خشککردن با امواج مادون قرمز استفاده کردیم.
چرا؟ چون امواج مادون قرمز مستقیماً به سطح ویفر اثر میکنند. دیگر نیازی نیست وقت یا انرژی زیادی را صرف گرم کردن یک جعبه فلزی پر از هوا کنیم. این روش تمیزتر، سریعتر است؛ همچنین نیازی نیست نگران ذرات ناخواسته ناشی از عناصر گرمایشی باشیم.
کاهش هدررفت انرژی
در واقع، این روش مانند آتش کمپ است؛ شما نیازی ندارید منتظر شوید تا هوای اطراف آتش گرم شود؛ گرمای آتش مستقیماً به پوست شما میرسد. امواج مادون قرمز نیز به همین شکل عمل میکنند؛ آنها از تابش الکترومغناطیسی برای انتقال انرژی مستقیماً به سطح ویفر استفاده میکنند.
تفاوت زمان گرم شدن بسیار زیاد است؛ دیگر نیازی نیست انرژی زیادی را صرف گرم کردن هوا کنیم. علاوه بر این، چون گرما بسیار متمرکز است، میتوان ماشینها را کوچکتر طراحی کرد. شما همان میزان کار را انجام میدهید، اما فضای کمتری را اشغال میکنید.
حفظ تمیزی
روشهای خشککردن قدیمی معمولاً نیاز به حلالهای شیمیایی یا کاتالیزورهایی دارد که در هنگام گرم شدن، بوی بدی دارند و میتوانند سمی باشند.
اما با استفاده از امواج مادون قرمز، میتوانیم طول موج نور را تنظیم کنیم؛ نور را در دامنهای قرار میدهیم که برای جذب توسط چسب یا مواد مورد استفاده مناسب باشد. این روش بسیار دقیق است.
بنابراین، میتوانیم مواد را بدون افزایش بیش از حد دمای محیط، خشک کنیم. اجزای حساس ما آسیب نخواهند دید، اما چسبهای بدون سرب نیز به خوبی به هم متصل خواهند شد. هیچ مواد سمی وجود ندارد؛ فقط یک فرآیند تمیز وجود دارد.
مشکلات موجود
اما امواج مادون قرمز هم جادویی نیستند؛ آنها نیز دارای مشکلاتی هستند.
بزرگترین مشکل، یکنواختی دمایی است؛ اگر ویفر دارای ضخامتهای مختلف یا ترکیبی از مواد مختلف باشد، نقاط گرمتری ایجاد خواهد شد. برای جلوگیری از سوختن لبههای ویفر، باید مراقب سنسورها و کنترلکنندههای PID باشیم.
این یک تعادل دشوار است؛ اگر فاصله لامپ خیلی کم باشد، ویفر خواهد سوخت؛ اگر فاصله زیاد باشد، باید منتظر چرخه خشککردن طولانی بمانیم. باید فاصله و توان مناسبی را پیدا کنیم تا کار به درستی انجام شود.