در کارخانههای تولید، روش کار مشخص است: ویفر از مرحله شستشوی تمیزکننده خارج میشود، اما هنوز حاوی مقادیر کمی آب است. برای خشک کردن این آب، نیاز به زمان زیادی است؛ هر دقیقه اضافی، زمان فرآیند را افزایش میدهد. علاوه بر این، گرمایش نامتوازن میتواند باعث ایجاد تنشهای حرارتی شود که منجر به اختلال در الگوهای تولیدی میشود. خشککن ویفر نور مادون قرمز، برای رفع این مشکلات ساخته شده است.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟ انرژی نور مادون قرمز مستقیماً بر روی آب و فوتورزیست تأثیر میگذارد؛ بنابراین سطح ویفر در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر میرسد، بدون نیاز به انتقال حرارت از طریق رسانش. یکنواختی دما در سراسر ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است، و تکرارپذیری فرآیند نیز در محدوده ±۰.۲ درجه سانتیگراد باقی میماند. سیستم گرمایشی این دستگاه از فرستندههای کوارتز-هالوژنی استفاده میکند که برای فرکانس نور مادون قرمز تنظیم شدهاند؛ همچنین، کنترل دقیق دما از طریق سیستم پایرومتری در سطح ویفر انجام میشود.
تولید ذرات نیز در این دستگاه به حداقل میرسد. این دستگاه با استانداردهای کلاس ۱–۱۰۰ سازگار است؛ همچنین، جریان هوا در این دستگاه به صورت لامینار بوده و سیستم تخلیه هوای آلوده نیز وجود دارد. استفاده از سیستم چسباندن بدون تماس، باعث میشود سطح ویفر تمیز بماند؛ بنابراین، نیازی به نگرانی درباره ایجاد خراشهای مکانیکی نیست.
چرا این دستگاه برای کارخانههای تولید مناسب است؟ شما به یک خشککن نیاز دارید که بتواند بین مرحله چرخش ویفر و دستگاه چاپ قرار بگیرد، بدون اینکه به ساختار کلی دستگاه آسیب برسد. این دستگاه فضای کمی را اشغال میکند، از پروتکلهای استاندارد SECS/GEM برای ارتباط استفاده میکند، و میتواند ۲۴ ساعته کار کند، بدون هیچ مشکلی. پروفایلهای گرمایشی مختلف نیز در این دستگاه وجود دارد؛ بنابراین، هنگام تغییر محصول، نیازی به تنظیم مجدد پارامترهای حرارتی نیست.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا نور مادون قرمز تنها هدف مورد نظر را گرم میکند، نه کل ساختار دستگاه. فرآیند گرم کردن فوتورزیست نیز در محدوده استانداردها باقی میماند؛ بنابراین، اختلافات در کیفیت تولید کاهش مییابد و نیاز به تعمیرات نیز کمتر میشود.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟ خشککن نور مادون قرمز به منبع تغذیه جداگانه و سیستم خنککننده مناسب نیاز دارد تا دمای مورد نظر حفظ شود. این دستگاه با اکثر ابزارهای ۳۰۰ میلیمتری سازگار است؛ اما هنوز لازم است که در زمان نصب، رابط مکانیکی و سیستم تخلیه هوا را بررسی کنید.
برای آزمایشهای لازم و تنظیم پارامترهای دستگاه، حدود دو هفته زمان لازم است. پس از آن، فرآیند تولید کاملاً قابل پیشبینی خواهد بود.