در فرآیند لیتوگرافی، ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری نمیتوانند منتظر بمانند تا دستگاه گرمایشی به دمای مورد نیاز برسد. روشهای گرمایش نرم و سخت، محدودیتهای حرارتی را تعیین میکنند؛ اگر دما ناپایدار باشد یا یکنواخت نباشد، کنترل ضخامت خطوط روی ویفرها دچار اختلال میشود. ما لولههای گرمایشی مادون قرمز با عمر طولانی را طراحی کردهایم تا این نوسانات را از بین ببریم.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟
این لولهها دارای فرستندههای مادون قرمز کوتاهامواج هستند که درون پوشش کوارتزی قرار دارند؛ بنابراین گرمایش سریع و مستقیمی ایجاد میشود. در کل منطقه گرمایش، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ یعنی هر ویفر دارای شرایط حرارتی یکسانی خواهد بود. خروجی این لولهها در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، پایدار باقی میماند و کاهش شدت نور کمتر از ۵٪ است. طراحی این لولهها به گونهای است که سازگار با محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ باشد؛ همچنین در حین کار، هیچ ذرهای تولید نمیشود.
چرا این لولهها در فرآیند تولید مؤثر هستند؟
این لولهها برای انجام فرآیندهای تولید طراحی شدهاند، نه فقط برای رسیدن به دمای مشخصی. در فرآیند گرم کردن فوتورزیست، این لولهها دمای مشخص شده را به الگوی مناسبی تبدیل میکنند؛ این امر باعث افزایش بازدهی تولید و کاهش مقدار ویفرهای بیکاربرد میشود. همچنین، نیاز به تعمیرات نیز کاهش مییابد. مصرف انرژی نیز کمتر میشود، زیرا سیستم فقط زمانی گرم میشود که نیاز باشد و دما نیز ثابت باقی میماند.
نکات عملی:
نصب و تنظیم این لولهها نیازمند دقت زیادی است؛ لولهها باید در فاصلههای مشخص شده توسط دستگاه نصب شوند؛ در غیر این صورت، ریسک ایجاد نقاط گرم وجود دارد و یکنواختی دما از بین میرود. پس از روشن شدن لامپ، کمی زمان لازم است تا دما به حالت پایدار برسد. جایگزینی لامپها نیز باید در زمانهای مشخص شده انجام شود تا عملکرد دستگاه حفظ شود. قبل از راهاندازی دستگاه، مطمئن شوید که ولتاژ و رابطات کابلی مطابق با مشخصات تجهیزات شما باشد.