در خط تولید، کاستهای مرطوب، نه تنها مانعی بر سر راه فرآیند تولید هستند، بلکه منشأ آلودگی نیز محسوب میشوند. رطوبت باقیمانده، باعث ایجاد نقصهای سطحی میشود؛ همچنین، حتی یک قطره آب نیز میتواند باعث کاهش بازدهی تولید شود. روشهای سنتی خشککردن، باعث ایجاد تفاوتهای دمایی در لبهها و گوشههای کاستها میشود. بنابراین، به یک دستگاه خشککن نیاز است که تمام بخشهای کاست را خشک کند، نه فقط قسمت مرکزی آن.
گرمایش مادونقرمز: یکنواختی در سطح زیر میلیمتری، قابلیت تکرارپذیری
ما این دستگاه خشککن مادونقرمز را بر اساس انتشار نور مادونقرمز کنترلشده و یک میدان حرارتی یکنواخت در سطح زیر میلیمتری ساختهایم. نتیجه این کار، داشتن الگوی دمایی یکنواخت در سراسر کاستهاست؛ حتی در صورت تغییر ترتیب قرارگیری کاستها، این یکنواختی حفظ میشود. مراحل پردازش فوتورزیست، به ثبات دمایی بستگی دارد؛ این سیستم، این شرایط را در هر چرخه تولیدی فراهم میکند. این دستگاه با استانداردهای اتاقهای پاک سطح ۱ تا ۱۰۰ سازگار است؛ همچنین، در حین کار، هیچ ذرهای تولید نمیشود. الگوی گرمایشی این دستگاه نیز کاملاً قابل تکرار است تا بتوان آن را برای کنترل فرآیند استفاده کرد.
چرا این موضوع در تولید ویفرها اهمیت دارد؟
در فرآیندهای لیتوگرافی و پردازش فوتورزیست، بازدهی تولید به دمای یکنواخت بستگی دارد. این دستگاه، رطوبت موجود در کاستهای تمیزشده را به سرعت خارج میکند، بدون ایجاد شوک حرارتی، و بدون ایجاد قطراتی که به طور ناهموار تبخیر شوند. در نتیجه، سرعت تولید افزایش مییابد، کارهای تکراری کاهش مییابد و مقدار ضایعات نیز کمتر میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا این دستگاه، هدف را مستقیماً گرم میکند، نه هوای اطراف آن. همچنین، این دستگاه برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است؛ با فواصل نگهداری قابل پیشبینی، و بدون توقفات غیرمنتظره.
نکات مربوط به نصب و بهرهبرداری
این دستگاه را میتوان در میزهای مرطوب موجود نصب کرد؛ اما برای حفظ تفاوت فشار در اتاق پاک، به یک مدار الکتریکی جداگانه و سیستم تخلیه هوای مناسب نیاز است. همچنین، باید مشخص شود که کدام پلیمرها به نور مادونقرمز چگونه واکنش نشان میدهند؛ سپس، با یک آزمایش کوتاه، زمان و دمای مناسب برای خشککردن کاستها تعیین میشود. پس از تنظیم، این دستگاه با قابلیت تکرارپذیری لازم برای خط تولید، کار خواهد کرد.