کاهش میزان کربن در کارخانههای تولید تراشه، بدون از دست رفتن بازدهی تولید
بیایید صادق باشیم: دستیابی به اهداف مربوط به کاهش کربن در کارخانههای تولید تراشه، کاری دشوار است. بخش عمدهای از انرژی هدررفتشده، در حین گرم کردن و پختن ویفرها اتفاق میافتد. این روش، کاملاً غیرکارآمد است. به همین دلیل، ما از روش گرمایش با امواج مادون قرمز استفاده میکنیم. ما راهی پیدا کردهایم تا میزان انرژی مصرفی را کاهش دهیم و زمان لازم برای انجام فرآیند را کوتاه کنیم؛ یعنی با استفاده از روشهای هوشمندانه برای اعمال گرما.
ارسال گرما دقیقاً به جایی که نیاز است
اگر دمای سطح ویفر یکنواخت نباشد، مشکلی وجود دارد. اما نمیتوانیم فقط گرما را بیشتر کنیم و امیدوار باشیم که همه چیز خوب پیش برود؛ چون در این صورت، لبههای ویفر خراب خواهند شد.
ما از فرستندههای امواج مادون قرمز کوتاهموج استفاده میکنیم؛ چون سرعت بالایی دارند. به جای گرم کردن کل محفظه، گرما مستقیماً به سطح ویفر منتقل میشود. در این روش، انرژی بیشتری صرف هوای اطراف ویفر نمیشود، و تمرکز بر روی خود ویفر است. این روش، روشی بسیار کارآمدتر برای انجام کارهاست.
دیگر حدس نزنید، بلکه از سنسورها استفاده کنید
در واقع، چراغهای گرمایشی بیفایده هستند، اگر ندانیم که دقیقاً چه کاری انجام میدهند. به همین دلیل، ما سنسورهای پرسرعت مادون قرمز را در سیستم قرار میدهیم.
این سنسورها، ویفر را در زمان واقعی تحت نظارت دارند و به چراغ اطلاع میدهند که چه زمانی باید دما کاهش یابد. دیگر نیازی نیست که دما بیش از حد بالا رود و انرژی بیشتری هدر رود.
حقیقت درباره بهبودهای «سبز»
واقعیت این است که رسیدن به هدفهای سبز، به اندازه سادگی فعال کردن یک کلید، آسان نیست. این چراغهای پرقدرت، مقدار زیادی گرما تولید میکنند؛ بنابراین نمیتوانیم فقط یک گرمایشکن قدیمی را جایگزین کنیم و فکر کنیم که همه چیز درست شده است.
باید به سیستمهای خنککننده نیز توجه کنیم؛ اگر سیستم خنککننده نتواند این بار گرمایی را تحمل کند، سنسورها شروع به خطا کردن خواهند کرد. وقتی این اتفاق بیفتد، یکنواختی دمای ویفر از بین خواهد رفت. این یک تعادلی است که باید در نظر گرفته شود.
ما سعی میکنیم این قطعات را تا حد امکان جایگزینهای مناسبی برای قطعات قدیمی باشند. با کاهش میزان انرژی مصرفی و تسریع در فرآیند گرمایش، میتوانیم میزان کربن تولید شده در کارخانه را کاهش دهیم، بدون اینکه بازدهی تولید متأثر شود.