HEATER VOOR DROGEN VAN MEMS SENSORSCHIJVEN
Hoe je MEMS-wafers droog maakt, zonder problemen
Bij het maken van MEMS-sensoren is vocht een groot probleem. Je kunt ze echter niet zomaar met hitte...
Veiligheidsafstand voor waferverwarming
Stop met het verspillen van energie
Wanneer je siliciumplakjes verwarmt, doet elke watt ertoe. Het probleem is dat standaard kwartslampen energie in...
Precisie IR sensor voor wafer
Het verminderen van de CO2-uitstoot in de halfgeleiderfabriek, zonder dat dit negatieve gevolgen heeft voor de opbrengst Laten we eerlijk zijn: het...
Temperatuursensor voor wafertool
Waarom we overstapten op infrarooddroging voor leidvrije halfgeleiders
Laten we eerlijk zijn: die ouderwetse convectieovens zijn een nachtmerrie....
Droger voor halfgeleiderchips in het nabije infrarood (NIR)
Op de productieafdeling is het proces vrij eenvoudig: een wafer komt uit het reinigingsproces en bevat nog steeds microliters water. Het duurt...
Fabriek voor industriële waferverwarmers
Op de productielijn is een temperatuurverschil van 0,5°C al voldoende om de cruciale dimensies te veranderen, waardoor veel producten als afval...
Heater op waferniveau CSP (Chip Scale Package)
Op de verpakkingsafdeling is al een verschil van een halve graad in de baktemperaturen voldoende om een hele cassette te verpesten. De profielen van...
MEMS wafel droger verwarmingselement
Bekijk een MEMS-wafer die van de laatste spoeling komt. Als de droogverwarmer zijn werk niet goed doet, ontstaan er watervlekken, waarna de hechting...
Waferdrager reinigingsdroger
Op de 300mm lijn weet je hoe het gaat: een drager komt van de natte werkbank en draagt nog microliters gevangen DI-water. Als je die vochtigheid niet...