Hoe je MEMS-wafers droog maakt, zonder problemen
Bij het maken van MEMS-sensoren is vocht een groot probleem. Je kunt ze echter niet zomaar met hitte behandelen – te veel thermische belasting of enige vorm van vervuiling kan ervoor zorgen dat een dure wafer nutteloos wordt.
Daarom gebruiken we hoogintensieve infrarode verwarmers. Ze zorgen er snel voor dat het vocht verdwijnt. Er is geen sprake meer van wachten op conventionele ovens, waardoor je veel ruimte bespaart en de productietijd verkort wordt.
Het geheim zit in de sterkte van de straling.
We gebruiken kortegolflange infrarode straling, omdat deze recht door de vlieslaag op het oppervlak van de sensor heen gaat. We stellen hoge stroomdichtheden in, zodat het water meteen verdampt zodra het in contact komt met de hitte. Als dit niet meteen gebeurt, ontstaan er watervlekken. En in de wereld van MEMS betekent een watervlek dat de elektronica beschadigd raakt.
Natuurlijk moet er een balans zijn. Meer vermogen betekent snellere droging, maar het vereist ook dat de stroomvoorziening het gewenste niveau kan leveren. Je moet dus het juiste evenwicht vinden voor je specifieke behoeften.
Het ‘slim’ maken van het productieproces (zonder flauwe termen).
Iedereen wil tegenwoordig meer gegevens hebben. We zorgen ervoor dat onze IR-systemen goed kunnen communiceren met je bestaande apparatuur. We gebruiken PID-regelaars en sensoren die rechtstreeks kunnen worden aangesloten op je MES-systeem.
Het is in feite een digitale verslaglegging van elke wafer. Als een lamp minder licht geeft of een sensor niet meer goed werkt, laat het systeem je dit onmiddellijk weten. Dit is veel beter dan pas later ontdekken dat je een hele batch wafer’s hebt moeten weggooien.
De echte uitdagingen van de hardware.
Deze systemen moeten 24/7 werken, en dat is zwaar voor de apparatuur. We gebruiken kwartsverpakkingen en gespecialiseerde filamenten om het licht zuiver te houden, maar toch wordt de apparatuur onder druk gezet.
Omdat infraroodstraling richtingsgebonden is, is precisie belangrijk. Als de lampen zelfs maar een paar millimeter uit elkaar staan, ontstaan er koude plekken op de wafer. Dit leidt tot ongelijke droging en daarmee tot problemen.
Bovendien moet al die hitte ergens naartoe. Als de koeling van het apparaat niet goed is, kunnen de elektronica rondom de verwarmers beschadigen. Het is een delicate balans, maar als alles goed is afgesteld, werkt het prima.