Op de verpakkingsafdeling is al een verschil van een halve graad in de baktemperaturen voldoende om een hele cassette te verpesten. De profielen van het fotoresistentmateriaal veranderen, er ontstaan leegtes onder het materiaal, en het herwerkproces vereist veel tijd en energie. CSP-oplossingen die op het niveau van de worp worden gebruikt, hebben een striktere thermische controle nodig dan standaardverpakkingen. Daarom moet de verwarmingsunit een betrouwbare bron van warmte zijn die je kunt vertrouwen.
Wat belangrijk is voor de werking We hebben deze verwarmingsunit ontworpen met als doel een nauwkeurige temperatuurregeling: ±0,1°C in de hete zone, gemeten op het oppervlak van de worp – niet alleen bij de sensor. Een snelle temperatuurregeling verkort de tijd die nodig is voor het proces, zonder dat dit negatieve gevolgen heeft voor de kwaliteit van het product. De unit kan worden gebruikt in zuiverruimtes van klasse 1–100. De materialen en constructie zorgen ervoor dat er geen deeltjes vrijkomen – geen uitwaseming, geen loslaten van materialen, geen vervuiling die moet worden weggehaald na elke behandeling. De unit is ontworpen voor 24/7 gebruik, zodat er geen onverwachte stilstanden optreden tijdens het proces.
Waarom deze unit geschikt is voor CSP-verwerking Bij CSP bepaalt de verwarmingsunit rechtstreeks de parameters voor het zachte en harde bakken, beïnvloedt het polymeriseren van het materiaal en regelt het de samenstelling van het materiaal onder het oppervlak. Dankzij de hoge uniformiteit blijft de breedte van de lijnen op het juiste niveau, en blijven de kleefkrachtseigenschappen consistent tussen verschillende batches. De verpakking is geschikt voor gebruik in zuiverruimtes en er komt weinig stof vrij. Dit zorgt voor een hoge kwaliteit van het product tijdens de lithografische bewerkingen en nachtcontroles. Omdat de temperatuur snel en nauwkeurig kan worden geregeld, wordt ook minder energie verbruikt.
Praktische tips voordat je deze unit bestelt De verwarmingsunit past in bestaande CSP-apparaten, maar de interface en de mechanische constructie moeten overeenkomen met de afmetingen van je apparaat en de worp. Plan eerst een kort testproces: meet de temperatuur over het hele oppervlak van de worp, en bepaal daarna de optimale instellingen. Let op: de maximale toegestane dikte van de worp varieert per model. Zorg dus dat je de juiste dikte van je worp kiest voordat je de bestelling plaatst.