Giảm lượng khí thải carbon trong nhà máy sản xuất bán dẫn mà vẫn giữ được năng suất sản xuất
Hãy thành thật mà nói: việc đạt được mục tiêu trung hòa carbon trong các nhà máy sản xuất bán dẫn quả là một thách thức lớn. Một phần lớn năng lượng bị lãng phí xảy ra trong quá trình làm nóng và xử lý wafer. Đó là cách sử dụng năng lượng kém hiệu quả. Chính vì vậy, chúng tôi chọn phương pháp sử dụng tia hồng ngoại để làm nóng. Chúng tôi đã tìm ra cách giảm mức tiêu thụ năng lượng và rút ngắn thời gian xử lý wafer bằng cách sử dụng tia hồng ngoại một cách thông minh hơn.
Đưa nhiệt lượng đến đúng vị trí cần thiết
Nếu nhiệt độ trên bề mặt wafer không đồng đều, bạn sẽ gặp vấn đề. Nhưng bạn không thể chỉ tăng nhiệt độ một cách ngẫu nhiên; nếu làm vậy, các mép của wafer sẽ bị hỏng. Chúng tôi sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại tần số cao vì chúng hoạt động rất nhanh. Thay vì làm nóng toàn bộ buồng xử lý như một chiếc lò nướng khổng lồ và chậm chạp, nhiệt lượng sẽ được truyền trực tiếp vào bề mặt wafer. Bạn sẽ không còn lãng phí năng lượng vào không khí xung quanh nữa, mà chỉ tập trung vào chính wafer mà thôi. Đó là cách hiệu quả hơn nhiều.
Ngừng đoán mò, bắt đầu sử dụng các cảm biến
Một bóng đèn sưởi ấm thực sự vô dụng nếu bạn không biết chính xác nó đang hoạt động như thế nào. Chính vì vậy, chúng tôi tích hợp các cảm biến hồng ngoại tốc độ cao vào hệ thống. Các cảm biến này giúp theo dõi nhiệt độ của wafer theo thời gian thực và báo cho bóng đèn biết khi nào cần giảm nhiệt độ lại. Như vậy, bạn sẽ không còn lãng phí năng lượng do hệ thống phản ứng chậm nữa.
Sự thật về việc “xanh hóa” các nhà máy sản xuất bán dẫn
Thực tế là việc “xanh hóa” các nhà máy sản xuất bán dẫn không đơn giản như việc chỉ cần bật công tắc. Những bóng đèn có cường độ cao này tạo ra rất nhiều nhiệt lượng. Bạn không thể chỉ thay thế bóng đèn cũ bằng bóng đèn mới là xong. Bạn cần kiểm tra hệ thống làm mát của mình. Nếu hệ thống làm mát không thể xử lý được lượng nhiệt lượng lớn này, các cảm biến sẽ bắt đầu sai lệch. Khi đó, độ đồng đều của nhiệt độ sẽ bị mất đi. Đó là một sự đánh đổi mà bạn cần lên kế hoạch trước. Chúng tôi cố gắng tạo ra những giải pháp thay thế mà không cần phải thay đổi quá nhiều cấu trúc hiện có. Bằng cách kiểm soát chặt chẽ nhiệt độ và rút ngắn thời gian làm nóng, chúng tôi có thể giảm tổng lượng năng lượng tiêu thụ cho mỗi wafer. Đó là cách đơn giản để giảm lượng khí thải carbon trong nhà máy sản xuất bán dẫn mà vẫn giữ được năng suất sản xuất.