Ra ngoài dây chuyền 300mm, bạn đã biết quy trình: một băng tải rời khỏi bàn ướt và vẫn mang theo microliter nước DI bị kẹt. Nếu bạn không làm khô độ ẩm đó về trạng thái khô lặp lại được, nó sẽ di chuyển vào lớp photoresist trong quá trình nướng mềm. Độ chính xác CD trôi dạt, và các khuyết tật bắt đầu xuất hiện trên máy quét. Máy sấy vệ sinh băng tải wafer được thiết kế để ngăn chặn phản ứng dây chuyền đó ngay tại cửa.
Những gì thực sự quan trọng bên trong Chúng tôi đã thiết kế máy sấy dựa trên một hệ thống nhiệt độ cao tinh khiết giữ độ đồng nhất cấp wafer ±0.1°C trên toàn bộ băng tải. Các phần tử NIR làm nóng nhanh chóng và không tiếp xúc, vì vậy độ ẩm được nâng lên mà không có độ trễ nhiệt. Một đường dẫn lọc hiệu suất cao giữ cho việc phát sinh hạt ở mức không và giữ môi trường buồng đồng nhất với phòng sạch Class 1–100. Lợi ích là kiểm soát nhiệt độ lặp lại cho các bước nướng photoresist và trạng thái khô lặp lại, vòng này qua vòng khác.
Đây là lý do tại sao điều này quan trọng trong quang khắc: ngân sách nhiệt không phải là tùy chọn. Nướng mềm và nướng cứng phải nằm trong thông số kỹ thuật để thiết lập độ nhớt, độ bám dính và độ gồ ghề cạnh đường theo cách đúng. Khi dung môi và độ ẩm còn lại tạo ra sự biến đổi, phân bố của bạn sẽ mở rộng và lô hàng làm lại sẽ chất đống. Máy sấy này loại bỏ sự biến đổi đó, vì vậy bạn hoạt động chặt chẽ hơn, giảm lãng phí và ngừng đốt lô hàng trong quá trình làm lại. Nền tảng được xây dựng cho hoạt động 24/7 với trọng tâm vào không có thời gian chết không dự đoán—bảo trì có thể dự đoán, sản lượng có thể dự đoán.
Một vài lưu ý thực tế. Máy sấy được tích hợp vào các điểm chuyển giao từ ướt sang khô hiện có, nhưng hệ thống tiện ích tại chỗ rất quan trọng. Lên kế hoạch cho việc định hướng khí thải chuyên dụng và khí nén sạch, khô để giữ cho đường dẫn xả ổn định. Trong các nhà máy có độ ẩm cao, một bước tiền xử lý độ ẩm nhỏ ở phía thượng nguồn có thể giúp giữ ổn định thời gian chu kỳ. Chúng tôi điều chỉnh giao diện kết nối theo tiêu chuẩn xử lý băng tải của bạn, vì vậy việc lắp đặt vẫn đơn giản và bạn không bị gián đoạn quy trình.