Yüksek verimliliği bozmadan tesislerdeki karbon salınımını azaltmak mümkün mü? Dürüst olalım: Bir yarı iletken üretim tesisinde karbonsuz hedeflere ulaşmak oldukça zor. Enerji israfının büyük bir kısmı, waferlerin ısıtılması ve sertleştirilmesi sırasında meydana geliyor. Bu durum oldukça verimsizdir. İşte bu yüzden hassas kızılötesi ısıtma yöntemlerini kullanıyoruz. Isıyı daha akıllıca uygulayarak enerji tüketimini azaltıp işlem süresini kısaltmanın yollarını bulduk.
Isıyı tam da gerektiği yerde uygulamak
Eğer wafer üzerindeki sıcaklık eşit değilse, sorun var demektir. Ancak sadece ısıyı artırıp en iyisini ummak mümkün değildir; aksi takdirde substratın kenarları zarar görebilir. Biz kısa dalga boyundaki kızılötesi ızgaralar kullanıyoruz; çünkü bunlar çok hızlıdır. Böylece tüm odayı ısıtmak yerine ısı doğrudan wafer yüzeyine ulaşır. Enerjiyi boşa harcamaktan kaçınıp sadece parçanın kendisine odaklanılır. Bu çok daha etkili bir yöntemdir.
Tahmin etmek yerine algılama yapmak
Eğer ne yaptığını tam olarak bilmiyorsanız, ısıtma lambası işe yaramaz. Bu yüzden sistemimize yüksek hızlı kızılötesi sensörler entegre ediyoruz. Bu sensörler waferi gerçek zamanlı olarak izler ve hedef sıcaklığa ulaşıldığında lambanın gücünü azaltmasını sağlar. Artık sistem yavaş tepkiler verdiği için enerji boşa harcanmaz.
“Yeşil” iyileştirmeler hakkındaki gerçekler
Aslında yeşile geçiş, tek bir düğmeye basmak kadar basit değil. Bu yüksek yoğunluktaki lambalar çok fazla ısı üretir. Eski ısıtıcıyı değiştirip işin bittiğini düşünemezsiniz. Soğutma sistemlerine dikkat etmelisiniz. Eğer soğutma sistemi bu yoğun ısıyı kaldıramazsa, sensörler yanlış değerler vermeye başlar. Böylece sıcaklık eşitliği bozulur. Bu, hesaba katmanız gereken bir denge meselesidir. Biz bu yeni cihazların mümkün olduğunca kolayca yerine geçebilecek şekilde tasarlanmasına çalışıyoruz. Böylece hem enerji tüketimini azaltıyoruz hem de verimliliği bozmuyoruz.