Üretim tesislerinde işleyiş şöyledir: Bir wafer, temizleme işleminden çıktığında hâlâ mikrolitrelerce su içerir. Bu suyun giderilmesi için ısıtıcıların birkaç dakika çalışması gerekir ve her geçen dakika üretim süresini artırır. Daha da kötüsü, eşit olmayan ısıtma durumu termal stres yaratır ve bu da desenlerin düzgün olmamasına neden olur. NIR tipi wafer kurutucuları tam olarak bu sorunu çözmek için tasarlanmıştır.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Yakın kızılötesi enerji, suya ve foto dirense doğrudan etki eder; böylece yüzeyin sıcaklığı, iletkenlik sürecini beklemeye gerek kalmadan saniyeler içinde belirlenen değere ulaşır. Waferin yüzeyindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C arasında kalır ve farklı partiler arasındaki tekrarlanabilirlik ise ±0,2°C arasındadır. Isıtıcılar, NIR bantlarına ayarlanmış kuvars-halojen emisyon cihazlarından oluşur ve waferin bulunduğu alanda kapalı döngüli termometri ile kontrol sağlanır.
Ayrıca, parçacık üretimi de düşük seviyededir. Odanın sınıfı Class 1–100标准larına uygun olup, laminal akış sistemi ve HEPA filtreli havalandırma sistemi mevcuttur. Sıfır temaslı tutucular sayesinde waferin ön yüzeyi temiz kalır; mekanik hasarlar oluşmaz.
Neden üretim tesisleri için uygundur?
Spin track ile litografi ünitesi arasına sığabilecek, düzeni bozmayacak bir kurutucuya ihtiyaç vardır. Bu cihazın boyutları küçüktür, standart SECS/GEM protokolleriyle çalışır ve kesintisiz olarak 24/7 çalışabilir. Ürün değiştiğünde operatörlerin ısı ayarlarını yeniden yapmasına gerek kalmaz.
Enerji kullanımı azalır, çünkü NIR ısıtıcılar sadece hedef alanı ısıtır, tüm yapıyı değil. Foto dirensteki ısıl işlemler standartlara uygun şekilde gerçekleşir; bu sayede CD ve üst üste gelme hataları azalır ve yeniden işleme ihtiyacı ortadan kalkar.
Planlamanız gerekenler:
NIR kurutucunun kendi güç kaynağına ve sıcaklığı sabit tutmak için temiz bir soğutma sistemine ihtiyacı vardır. Çoğu 300 mm’lik cihazla uyumlu çalışır, ancak kurulum sırasında mekanik arayüzlerin ve havalandırma sistemlerinin kontrol edilmesi gerekmektedir.
Kalifikasyon işlemleri ve ayarlamalar için yaklaşık iki haftalık bir süre gereklidir. Ayarlamalar yapıldıktan sonra işlem süreci daha düzenli ve öngörülebilir hale gelir.