Üretim alanında, nemli kasetler sadece bir engel değildir; aynı zamanda kirlenmeye yol açan bir faktördür. Kalan nem, yüzeyde kusurlara neden olur ve bu da üretim verimliliğini düşürür. Geleneksel kurutma yöntemleri, suyun kenarlarda ve köşelerde birikmesine neden olur. Bu yüzden sadece merkezi kısımları değil, tüm yüzeyi kurutan bir kurutucuya ihtiyaç vardır.
Kızılötesi ısıtma: Milimetrenin altında derecede eşitlik, tekrarlanabilirlik
Bu kaset temizleme için kullanılan kızılötesi kurutucu, kontrol edilebilir NIR ışınımı ve milimetrenin altında derecede eşit olan bir termal alan sayesinde çalışır. Böylece, yükün konfigürasyonu değişse bile tüm kaset üzerinde tutarlı bir sıcaklık profili elde edilir. Foto direnç işlemleri için gerekli olan sıcaklık koşulları da bu sistem sayesinde sağlanır. Bu sistem, tekrar tekrar aynı sonuçları verir. Temiz oda standartlarına uygun olarak çalışır, işletim sırasında hiçbir parçacık oluşmaz ve ısıtma profili tamamen tekrarlanabilir olduğundan süreç kontrolü kolaylaşır.
Wafer üretiminde neden önemli?
Litografi ve foto direnç işlemlerinde üretim verimliliği, tutarlı sıcaklık koşullarına bağlıdır. Bu kurutucu, temizlenmiş kasetlerdeki nemi hızlı bir şekilde uzaklaştırır; termal şok oluşturmaz ve eşit olmayan şekilde buharlaşan damlacıklar bırakmaz. Böylece daha hızlı üretim, daha az yeniden işleme ve daha az atık elde edilir. Enerji tüketimi ise azalır, çünkü kızılötesi ısı doğrudan hedefi ısıtır, etrafındaki havayı değil. Ayrıca 7/24 çalışacak şekilde tasarlanmıştır ve beklenmedik arızalar yaşanmaz.
Kurulum ve kullanım notları
Bu cihaz mevcut ıslak işlem istasyonlarına monte edilebilir. Ancak temiz oda basınç farkını korumak için özel bir elektrik devresi ve uygun egzoz sistemi gereklidir. Kaset malzemesinin kızılötesi ışığı ne şekilde emdiğini kontrol edin; bazı polimerler kızılötesi ışığı farklı şekillerde emer. Daha sonra, kalış süresi ve sıcaklık değerlerini belirlemek için kısa bir test yapın. Kalibre edildikten sonra, üretimin gerektirdiği tekrarlanabilirlikle çalışır.