Hentikan pemborosan energi Anda
Saat memanaskan wafer silikon, setiap watt energi sangatlah penting. Masalahnya adalah lampu kuarsa biasa memancarkan energi ke segala arah, yaitu dalam lingkaran 360 derajat. Artinya, Anda sebenarnya membayar biaya untuk memanaskan badan mesin, bukan substrat itu sendiri. Ini merupakan pemborosan energi.
Untuk mengatasi hal ini, kami menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Ini merupakan prinsip fisika yang sederhana: energi tersebut dialihkan kembali ke arah wafer.
Mendapatkan fokus yang tepat
Emas merupakan bahan terbaik untuk tujuan ini, karena kemampuan refleksinya terhadap gelombang inframerah jauh lebih baik daripada bahan lainnya. Dengan meletakkan lampu di dalam rongga yang dilapisi emas, kita dapat memfokuskan radiasi inframerah tersebut menjadi sinar yang lebih intensif.
Tidak ada lagi “kehilangan energi” akibat pancaran energi ke sisi-sisi. Anda akan mendapatkan fluks panas yang lebih tinggi per sentimeter persegi, sehingga suhu yang diinginkan dapat dicapai lebih cepat.
Namun, Anda perlu berhati-hati dengan jarak antara lampu dan wafer. Jika lampu terlalu dekat, akan timbul titik-titik panas pada wafer. Jika terlalu jauh, energinya akan menyebar, sehingga Anda perlu meningkatkan tegangan agar tetap bisa mencapai suhu yang diinginkan. Hal ini akan merusak lampu tersebut. Kami menghabiskan banyak waktu untuk menyetel fokus lampu sedemikian rupa sehingga radiasi tersebut benar-benar mengenai permukaan wafer secara merata.
Kompromi yang harus diterima
Ini bukanlah solusi yang bisa digunakan tanpa pemeliharaan. Karena reflektor ini sangat efektif dalam memfokuskan panas, maka suhu lampu akan menjadi lebih tinggi dibandingkan sistem terbuka. Anda tidak boleh mengabaikan sistem pendinginan. Baik menggunakan kipas maupun sistem pendingin air, Anda perlu memastikan bahwa sistem tersebut mampu menangani beban termal yang ditimbulkan oleh lampu. Jika sistem pendinginan gagal, filamen lampu akan rusak dalam waktu singkat. Ini merupakan harga yang mahal untuk mendapatkan efisiensi yang tinggi.
Mengapa hal ini layak dilakukan
Ketika semuanya berjalan dengan baik, proses pemanasan akan berlangsung dengan mudah. Anda membutuhkan daya yang lebih sedikit untuk mencapai suhu yang diinginkan, sehingga beban pada sumber daya listrik pun berkurang. Selain itu, komponen pemanas juga dapat dibuat lebih kecil. Bagi para insinyur, hal ini berarti waktu pengoperasian yang lebih cepat, serta keyakinan yang lebih besar terhadap kemampuan sistem pemanasan tersebut. Semuanya menjadi lebih efisien.