گرمایش با استفاده از امواج مادون قرمز در مقابل هوای گرم: روشی سریعتر برای خشک کردن ویفرها
در فرآیندهای تکمیلی ساخت تراشههای نیمههادی، همه چیز به سرعت انجام کار بستگی دارد. اگر هنوز از هوای گرم برای خشک کردن ویفرها پس از شستشو استفاده میکنید، در واقع در حال انتظار هستید تا هوا گرما را به سطح ویفرها منتقل کند؛ این روش بسیار آهسته است.
لامپهای مادون قرمز این مشکل را برطرف میکنند؛ آنها نیازی به واسطههایی برای انتقال گرما ندارند و مستقیماً روی سطح ویفرها تأثیر میگذارند.
چرا این روش سریعتر است؟
فکر کنید که هوای گرم چگونه عمل میکند؛ باید مقدار زیادی هوا را گرم کرد، سپس آن را با فنها به سمت سطح ویفرها پرتاب کرد؛ این کار نیاز به تلاش زیادی دارد و نتیجه آن نیز آهسته است.
اما لامپهای مادون قرمز متفاوت هستند؛ آنها از انرژی تابشی برای انتقال گرما استفاده میکنند. از آنجایی که از لامپهای ضدآب برای مراحل شستشو استفاده میشود، آنها میتوانند در برابر بخار و رطوبت مقاومت کنند. گرما با سرعت نور منتقل میشود.
در نتیجه، فرآیند خشک کردن که قبلاً چند دقیقه طول میکشید، اکنون تنها چند ثانیه طول میکشد. شما میتوانید هر ساعت تعداد بیشتری قطعات را تولید کنید، و حتی نیازی نیست فضای بیشتری در کارخانه خود فراهم کنید.
مقابله با رطوبت
خطوط شستشو مرطوب هستند؛ این وضعیت برای قطعات الکترونیکی مشکلساز است. به همین دلیل، این لامپها به خوبی مهر و موم شدهاند. از غلافهای کوارتزی و مهرهای ضدرطوبت برای جلوگیری از اکسیداسیون فیلامنتها استفاده میشود. علاوه بر این، به دلیل تمرکز انرژی، گرمای بیشتری در نقاط مورد نیاز تولید میشود.
مشکلات و راهحلها
شما نمیتوانید فقط یک لامپ مادون قرمز را جایگزین فن کنید و انتظار معجزه داشته باشید. لامپهای مادون قرمز نیاز به خط دید صافی دارند؛ اگر قطعات شما شکل عجیبی داشته باشند یا شیارهای عمیقی داشته باشند، در نقاطی گرما به آنها نخواهد رسید. برای حل این مشکل، ممکن است نیاز به استفاده از چند لامپ یا منعکسکنندههایی برای انتقال گرما به آن نقاط باشد.
نکته آخر: به میزان برق مورد نیاز توجه کنید؛ لامپهای مادون قرمز نیاز به مقدار زیادی برق دارند. ممکن است نیاز باشد که کلیدهای برق خود را تقویت کنید تا هر بار که سیستم به حداکثر بار خود میرسد، مشکلی پیش نیاید.