ফ্যাব লেভেলে, আপনি নিশ্চয়ই জানেন: ক্লিন রিন্স প্রক্রিয়ার পরও ওয়েফারে কয়েক মাইক্রোলিটার জল থেকে যায়। এই জলটি অপসারণ করতে হটপ্লেটগুলোকে কয়েক মিনিট সময় লাগে; আর প্রতি মিনিটই প্রক্রিয়ার সময়কালকে বাড়িয়ে দেয়। আরও খারাপ ব্যাপার হলো, অসমান তাপ প্রয়োগের ফলে থার্মাল স্ট্রেস সৃষ্টি হয়, যা ওয়েফারের প্যাটার্নে ত্রুটি সৃষ্টি করে। NIR ওয়েফার ড্রায়ারটি ঠিক এই সমস্যাগুলো সমাধান করার জন্যই তৈরি করা হয়েছে।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ? নিয়ার-ইনফ্রারেড শক্তি সরাসরি জল ও ফটোরেসিস্টের উপর পড়ে; ফলে কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই ওয়েফারের পৃষ্ঠের তাপমাত্রা নির্ধারিত মানে পৌঁছায়। ওয়েফারের বিভিন্ন অংশে তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে—±0.1°C এর মধ্যে। হিটার অ্যারেগুলো কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন ইমিটার ব্যবহার করে নিয়ার-ইনফ্রারেড তরঙ্গদৈর্ঘ্যে তাপ প্রয়োগ করে; আর ওয়েফারের পৃষ্ঠেই ক্লোজড-লুপ পাইরোমেট্রি ব্যবহার করে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা হয়।
কণা উৎপাদনও কম থাকে। চেম্বারটি Class 1–100 মানসম্মত; ল্যামিনার ফ্লো ও HEPA-ইন্টিগ্রেটেড এক্সহস্ট ব্যবহৃত হয়। জিরো-কন্টাক্ট ক্ল্যাম্পিংয়ের কারণে ওয়েফারের সামনের অংশটি পরিষ্কার থাকে—কোনো যান্ত্রিক ক্ষতি হয় না।
কেন এটি ফ্যাবের জন্য উপযুক্ত? আপনার এমন একটি ড্রায়ার দরকার, যা স্পিন ট্র্যাক ও লিথো সেলের মধ্যে বিনা সমস্যায় কাজ করতে পারে। এই ড্রায়ারটি ছোট আকারের; স্ট্যান্ডার্ড SECS/GEM প্রোটোকল ব্যবহার করে কাজ করে; আর ২৪/৭ কাজ করতে পারে—কোনো ব্যর্থতা নেই। সফট বেক ও হার্ড বেক প্রোফাইলগুলো রেসিপিতে সংরক্ষিত থাকে; ফলে পণ্য পরিবর্তিত হলেও অপারেটরদের আর থার্মাল ব্যবস্থা পুনর্নির্ধারণ করতে হয় না।
শক্তি ব্যবহার কম হয়, কারণ NIR শক্তি শুধুমাত্র লক্ষ্যবস্তুকেই উত্তপ্ত করে, পুরো ফ্রেমকে নয়। ফটোরেসিস্ট নির্ধারিত মানেই উত্তপ্ত হয়; ফলে CD ও ওভারলে ত্রুটিগুলো কমে যায়, আর রিওয়ার্কের প্রয়োজনও কমে যায়।
কী পরিকল্পনা করতে হবে? NIR ড্রায়ারের জন্য নিজস্ব পাওয়ার সরবরাহ ও ক্লিন কুল্যান্ট সার্কিট দরকার। এটি বেশিরভাগ ৩০০ মিমি ট্র্যাক টুলগুলোর সাথে কাজ করতে পারে; কিন্তু ইনস্টলেশনের সময় যান্ত্রিক ইন্টারফেস ও এক্সহস্ট ডাক্টগুলো যাচাই করা দরকার।
কোয়ালিফিকেশন রান ও রেসিপি ম্যাপিংয়ের জন্য প্রায় দুই সপ্তাহ সময় লাগবে। একবার এটি ঠিকভাবে কাজ করতে শুরু করলে, প্রক্রিয়াটি সুচারুভাবে চলবে।