লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারগুলো হিটার ঠিকমতো কাজ করার জন্য অপেক্ষা করে না। “সফ্ট বেক” ও “হার্ড বেক” ধরনের পদ্ধতিগুলো তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে ব্যবহৃত হয়; আর যদি তাপমাত্রা অস্থির বা সমান না থাকে, তাহলে ওয়েফারগুলোর গুণমান কমে যায়। এই সমস্যাগুলো দূর করার জন্যই আমরা দীর্ঘস্থায়ী ইনফ্রারেড হিটিং টিউব তৈরি করেছি।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
এই টিউবটিতে কোয়ার্টজ আবরণের ভিতরে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার রয়েছে; ফলে দ্রুত ও সরাসরি তাপ সরবরাহ হয়। বেকিং প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রা ±০.১°সেন্টিগ্রেডের মধ্যে সমান থাকে; অর্থাৎ প্রতিটি ওয়েফারই একই ধরনের তাপমাত্রা পায়। ৫,০০০ ঘন্টারও বেশি সময় ধরে এর কার্যকারিতা স্থিতিশীল থাকে, আর তীব্রতা হ্রাস পায় মাত্র ৫% এর কম। ক্লিনরুম পরিবেশেও এটি কার্যকর থাকে; কারণ এর ডিজাইনটি ক্লাস ১–১০০ পরিবেশের জন্য উপযুক্ত। অপারেশনের সময় কোনো ধরনের কণা নির্গত হয় না।
কেন এটি উৎপাদনে কার্যকর?
এই টিউবটি শুধুমাত্র তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের জন্য নয়, বরং পুরো প্রক্রিয়ার জন্যই তৈরি করা হয়েছে। ফটোরেজিস্ট বেকিং প্রক্রিয়ায় এটি নির্দিষ্ট তাপমাত্রা নিশ্চিত করে; ফলে বিভিন্ন শিফট ও লটেও একই ধরনের ফলাফল পাওয়া যায়। এর ফলে উৎপাদন কার্যক্ষমতা বৃদ্ধি পায়, অপ্রয়োজনীয় ওয়েফারগুলো কমে যায়, আর রক্ষণাবেক্ষণও সহজ হয়ে যায়। এনার্জি ব্যবহারও কমে যায়; কারণ সিস্টেমটি প্রয়োজন অনুযায়ীই তাপ সরবরাহ করে।
কিছু ব্যবহারিক নির্দেশনা:
টিউবটিকে নির্দিষ্ট নির্দেশাবলী অনুযায়ীই ইনস্টল করতে হবে। অন্যথায় তাপমাত্রা অসমান হয়ে যাবে। প্রতিবার ল্যাম্প চালু করার পর কিছুক্ষণ অপেক্ষা করতে হবে; তারপরই সিস্টেমটি স্থিতিশীল অবস্থায় চলবে। ল্যাম্প প্রতিস্থাপন নির্ধারিত সময়েই করতে হবে; যাতে সিস্টেমটি সবসময় কার্যকর থাকে। কমিশনিংয়ের আগে নিশ্চিত করুন যে ভোল্টেজ ও কানেক্টর ইন্টারফেসগুলো আপনার যন্ত্রের নির্দেশাবলী অনুযায়ী রয়েছে।