ফ্যাব ফ্লোরে, আর্দ্র ক্যাসেটগুলো শুধুমাত্র একটি বাধা নয়; বরং এগুলো দূষণের জন্য উপযুক্ত পরিবেশ তৈরি করে। অবশিষ্ট আর্দ্রতা ক্যাসেটের পৃষ্ঠে ত্রুটি সৃষ্টি করে; আর একটি ছোট্ট ত্রুটিও উৎপাদন ক্ষমতাকে কমিয়ে দিতে পারে। সাধারণ শুকানো পদ্ধতিগুলো তাপীয় পার্থক্য সৃষ্টি করে, যার ফলে জল ক্যাসেটের কিনারা ও কোণাগুলোতে জমে থাকে। আপনার দরকার এমন একটি ড্রায়ার, যা ক্যাসেটের সমগ্র অংশকে শুকিয়ে দেয়, শুধুমাত্র কেন্দ্রীয় অংশটিই নয়।
ইনফ্রারেড হিটিং: সুপার-মিলিমিটার মানে সমানতা, পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা
আমরা এই ইনফ্রারেড ড্রায়ারটি নিয়ন্ত্রিত NIR বিকিরণ এবং সুপার-মিলিমিটার মানে সমানতা বজায় রাখার জন্য তৈরি করেছি। এর ফলে ক্যাসেটের সমগ্র অংশে সমান তাপমাত্রা বজায় থাকে; এমনকি লোডের গঠন পরিবর্তিত হলেও একই সমানতা বজায় থাকে। ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়াগুলো তাপীয় স্থিতিশীলতার উপর নির্ভর করে। এই সিস্টেমটি ধাপে ধাপে এই কাজটি সম্পন্ন করে। এটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100-এর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; অপারেশনের সময় কোনো কণা উৎপন্ন হয় না। আর হিটিং প্রক্রিয়াটি সম্পূর্ণরূপে পুনরাবৃত্তিযোগ্য, যা প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণে সাহায্য করে।
ওয়েফার তৈরিতে এর গুরুত্ব
লিথোগ্রাফি ও ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় উৎপাদন ক্ষমতা নির্ভর করে স্থিতিশীল তাপমাত্রার উপর। এই ড্রায়ারটি পরিষ্কার করা ক্যাসেটগুলো থেকে দ্রুত আর্দ্রতা অপসারণ করে; কোনো তাপীয় ধাক্কা ছাড়াই। এর ফলে উৎপাদন ক্ষমতা বাড়ে, পুনর্কাজের প্রয়োজন কমে যায়, আর অপচয়ও কমে যায়। ইনফ্রারেড রশ্মি সরাসরি লক্ষ্যবস্তুকে উত্তপ্ত করে, চারপাশের বাতাসকে নয়; তাই শক্তি ব্যবহার কম হয়। এটি ২৪/৭ অপারেশনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; রক্ষণাবেক্ষণের সময়ও নির্ধারিত থাকে, কোনো অপ্রত্যাশিত বন্ধ হওয়ার ঘটনা ঘটে না।
ইনস্টলেশন ও অপারেশন সংক্রান্ত নোটস
এই ড্রায়ারটি বিদ্যমান ওয়েট বেন্চে স্থাপন করা যায়; কিন্তু ক্লিনরুমের চাপ স্থিতিশীল রাখার জন্য আলাদা বিদ্যুৎ সার্কিট ও নির্দিষ্ট এক্সহস্ট সিস্টেম প্রয়োজন। ক্যাসেটের উপাদানের সামঞ্জস্য যাচাই করুন—কিছু পলিমার IR রশ্মিকে ভিন্নভাবে শোষণ করে। এরপর সঠিক সময় ও তাপমাত্রা নির্ধারণ করে প্রক্রিয়াটি শুরু করুন। একবার ক্যালিব্রেট হয়ে গেলে, এটি আপনার ফ্যাবের চাহিদা অনুযায়ী কাজ করবে।