300mm লাইনে
আপনি জানেন কীভাবে কাজ করতে হয়: একটি ক্যারিয়ার ভিজা বেঞ্চ থেকে বেরিয়ে আসে এবং এখনও কয়েক মাইক্রোলিটার আটকে থাকা DI জল বহন করে। যদি আপনি সেই আর্দ্রতা একটি পুনরাবৃত্তিযোগ্য শুকনো অবস্থায় নামিয়ে না আনেন, তাহলে এটি সফট বেকের সময় ফটোরেজিস্টে মাইগ্রেট করে। CD সহনশীলতা হ্রাস পায় এবং স্ক্যানারে ত্রুটি দেখা দিতে শুরু করে। ওয়েফার ক্যারিয়ার ক্লিনিং ড্রায়ারটি এই চেইন প্রতিক্রিয়াকে দরজায় থামানোর জন্য তৈরি করা হয়েছে।
যা আসলে গুরুত্বপূর্ণ আমরা ড্রায়ারটি একটি উচ্চ-পূর্তির তাপীয় সিস্টেমের চারপাশে ডিজাইন করেছি যা সারা ক্যারিয়ার জুড়ে ±0.1°C ওয়েফার-স্তরের সমানত্ব ধরে রাখে। NIR উপাদানগুলি দ্রুত এবং যোগাযোগ ছাড়াই তাপ দেয়, তাই আর্দ্রতা তাপীয় ল্যাগ ছাড়াই উঠে যায়। একটি উচ্চ-দক্ষতা ফিল্ট্রেশন পথ কণার উৎপাদন শূন্যে রাখে এবং চেম্বারের পরিবেশকে ক্লিনরুম ক্লাস 1-100 এর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ রাখে। এর ফলস্বরূপ, ফটোরেজিস্ট বেক পদক্ষেপের জন্য পুনরাবৃত্তিযোগ্য তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্য শুকনো অবস্থা পাওয়া যায়, পর পর চক্রের জন্য।
এটি লিথোগ্রাফিতে কেন গুরুত্বপূর্ণ: তাপীয় বাজেট ঐচ্ছিক নয়। সফট বেক এবং হার্ড বেককে স্পেসে থাকতে হবে যাতে ভিস্কোসিটি, অ্যাডহেশন এবং লাইন-এজ রাফনেস সঠিকভাবে সেট করা যায়। যখন অবশিষ্ট সলভেন্ট এবং আর্দ্রতা পরিবর্তনশীলতা যুক্ত করে, তখন আপনার বিতরণগুলি প্রসারিত হয় এবং পুনরায় কাজের পার্টির সংখ্যা বাড়ে। এই ড্রায়ারটি সেই পরিবর্তনশীলতাকে দূর করে, তাই আপনি আরও সংকীর্ণভাবে চালাতে পারেন, কম বর্জ্য উৎপাদন করতে পারেন এবং পুনরায় কাজের সময়ে লটগুলি পুড়িয়ে দেওয়া বন্ধ করতে পারেন। প্ল্যাটফর্মটি 24/7 অপারেশনের জন্য তৈরি করা হয়েছে, যার লক্ষ্য শূন্য অনিচ্ছাকৃত ডাউনটাইম—পূর্বনির্ধারিত রক্ষণাবেক্ষণ, পূর্বনির্ধারিত আউটপুট।
কিছু ব্যবহারিক নোট। ড্রায়ারটি বিদ্যমান ভিজা থেকে শুকনো হ্যান্ডঅফে পড়ে, তবে সাইটের সুবিধাগুলি গুরুত্বপূর্ণ। স্থির নিষ্কাশন রুটিং এবং পরিষ্কার, শুকনো সংকুচিত বায়ুর জন্য পরিকল্পনা করুন যাতে পর্জ পথটি স্থিতিশীল থাকে। উচ্চ আর্দ্রতা ফ্যাবগুলিতে, একটি ছোট আপস্ট্রিম আর্দ্রতা প্রাক-শর্তকরণ পদক্ষেপ চক্রের সময় লক করতে সাহায্য করতে পারে। আমরা আপনার ক্যারিয়ার হ্যান্ডলিং মানের সাথে সংযোগকারী ইন্টারফেস মেলাই, তাই ইনস্টলেশন সহজ থাকে এবং আপনি প্রক্রিয়ার ধারাবাহিকতা নষ্ট করেন না।