প্যাকেজিং প্রক্রিয়ায়, বেকিং তাপমাত্রায় অর্ধ ডিগ্রির মতো পরিবর্তনই যথেষ্ট হয়ে যায় একটি ক্যাসেটকে নষ্ট করার জন্য। ফটোরেজিস্টের প্রোফাইল পরিবর্তিত হয়ে যায়; আন্ডারফিল ভলিউডগুলো দৃশ্যমান হয়ে ওঠে; আর রিওয়ার্কিং প্রক্রিয়ায় অতিরিক্ত শক্তি ব্যবহৃত হয়। ওয়্যাফার-লেভেল CSP-এ থার্মাল নিয়ন্ত্রণ আরও কঠোর হয়; তাই হিটারটি অবশ্যই নির্ভরযোগ্য হতে হবে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা এই ওয়্যাফার-লেভেল CSP হিটারটিকে নির্ভরযোগ্য তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের ভিত্তিতে তৈরি করেছি—হট জোনে ±0.1°C এর মধ্যে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা হয়; এটা শুধুমাত্র সেন্সরের মাধ্যমে নয়, বরং ওয়্যাফারের সমগ্র পৃষ্ঠেই পরিমাপ করা হয়। দ্রুত তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের ফলে সাইকল টাইম কমে যায়; আর প্রোফাইলও ক্ষতিগ্রস্ত হয় না। এটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100-এ কাজ করে; আর এর উপকরণ ও গঠনের কারণে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না—কোনো ধরনের দূষণ নেই। এটি ২৪/৭ কাজ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; কোনো ধরনের অপ্রত্যাশিত বন্ধ হওয়ার সম্ভাবনা নেই।
CSP প্রক্রিয়ায় এটি কেন কার্যকর?
CSP-এ হিটারটি সরাসরি “সফ্ট বেক” ও “হার্ড বেক” প্রক্রিয়াগুলো নিয়ন্ত্রণ করে; পলিমারগুলোকে শক্ত করে এবং আন্ডারফিলগুলোকে নিয়ন্ত্রণ করে। নিখুঁত তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের ফলে ওয়্যাফারের সমগ্র পৃষ্ঠে লাইনওয়েডথ নিয়ন্ত্রণ থাকে; আর বিভিন্ন লটের মধ্যেও অ্যাডহেসন মার্জিন অপরিবর্তিত থাকে। ক্লিনরুম-সামঞ্জস্যপূর্ণ প্যাকেজিং ও কম কণা উৎপন্ন হওয়ার কারণে লিথোগ্রাফি ও পোস্ট-বেক ইনস্পেকশনে উৎপাদন ক্ষমতা অক্ষুণ্ণ থাকে। আর যেহেতু সেটপয়েন্টগুলো দ্রুত ও নির্ভুলভাবে নিয়ন্ত্রিত হয়, তাই শক্তি ব্যবহার কমে যায়—অতিরিক্ত শক্তি ব্যবহৃত হয় না, অপ্রয়োজনীয় কিলোওয়াট-ঘণ্টাও ব্যয় হয় না।
কেনার আগে কী বিষয়গুলো বিবেচনা করতে হবে?
হিটারটি বিদ্যমান CSP টুলগুলোতে ব্যবহার করা যায়; কিন্তু ইন্টারফেস ও যান্ত্রিক গঠনটি আপনার ফিক্সচার ও ওয়্যাফারের আকারের সাথে মেলে কিনা তা নিশ্চিত করতে হবে। প্রথমে একটি সংক্ষিপ্ত টেস্ট করুন—সমগ্র সাবস্ট্রেটে তাপমাত্রা পরিমাপ করুন; তারপর রেসিপিটি নির্ধারণ করুন। একটি সীমাবদ্ধতা হলো—বিভিন্ন মডেলে ওয়্যাফারের সর্বোচ্চ পুরুত্ব ভিন্ন হয়; তাই কেনার আগে আপনার ওয়্যাফারের পুরুত্ব নিশ্চিত করুন।