MEMS sensör yongası kurutma ısıtıcısı
MEMS waferlerini sorunsuz bir şekilde kurutmak mümkün.
MEMS sensörleri üretirken nem büyük bir düşmandır. Ancak sadece ısı kullanarak bu durumu...
Wafer ısıtma için güvenlik mesafesi
Isınığınızı boşa harcamayın
Silikon levhaları ısıttığınızda her bir watt çok önemlidir. Sorun şu ki, standart kuvars lambaları enerjiyi her yöne...
Wafer için hassas kızılötesi sensör
Yüksek verimliliği bozmadan tesislerdeki karbon salınımını azaltmak mümkün mü? Dürüst olalım: Bir yarı iletken üretim tesisinde karbonsuz hedeflere...
Wafer aracı için sıcaklık sensörü
Neden kurşunsuz yarı iletkenler için kızılötesi kurutma yöntemini tercih ettik?
Dürüst olalım: O eski tip konveksiyon fırınları gerçekten işkence...
Wafer seviyesi CSP (Chip Scale Package) ısıtıcı
Paketleme sürecinde, fırın sıcaklığında yarım derecelik bir değişiklik bile tüm ürünün bozulmasına neden olabilir. Fotoresist profilleri değişir, alt...
MEMS plaka kurutma ısıtıcısı
MEMS wafer’ın son durulama işleminden çıktığını izleyin. Eğer kurutma ısıtıcısı gereken performansı gösteremezse, su lekeleri oluşur, ardından...
Wafer taşıyıcı temizleme kurutucusu
300mm hattında, prosedürü biliyorsunuz: bir taşıyıcı ıslak masadan çıkar ve hala mikrolitrelerce hapsolmuş DI suyu taşır. O nemi tekrar eden bir kuru...
Otomatik yarı iletken kurutma ısıtıcısı
Hat üzerinde sapma kabul edilemez. Wafer üzerinde sıcaklığın sadece küçük bir derecelik farkla bile sapması, fotoresist profilinde kendini...