
Neden kurşunsuz yarı iletkenler için kızılötesi kurutma yöntemini tercih ettik?
Dürüst olalım: O eski tip konveksiyon fırınları gerçekten işkence gibi. Endüstri, wafer üretimi için kurşunsuz standartlara geçtiğinde, her şeyi yeniden düşünmek zorunda kaldık. Artık tüm odayı ısıtmaya çalışmak yerine kızılötesi kurutma yöntemini kullanmaya başladık.
Neden? Çünkü kızılötesi ışınlar doğrudan yüzeye etki eder. Hava dolu devasa metal kutuları ısıtmak için zaman ve enerji kaybetmiyorsunuz. Bu yöntem daha temiz, daha hızlıdır ve ısıtma elemanlarından kaynaklanan zararlı parçacıklarla ilgili endişelenmenize gerek kalmaz.
Enerji tasarrufu
Bunu bir kamp ateşiyle karşılaştırın. Ateşin etrafındaki havanın ısınmasını beklemek zorunda değilsiniz; ısıyı hemen cildinizde hissedersiniz. Kızılötesi ışınlar da aynı şekilde çalışır; elektromanyetik radyasyon kullanarak enerjiyi doğrudan wafer yüzeyine aktarır.
Isınma süresinde büyük farklar vardır. Havayı uygun sıcaklığa getirmek için binlerce watt enerji harcamanıza gerek kalmaz. Ayrıca ısı çok yoğun olduğundan makineler de çok daha küçük olabilir. Aynı iş sonucunu elde ederken, daha az alan kullanmış olursunuz.
Temizlik
Eski yöntemlerde genellikle kimyasal çözücüler veya katalizörler kullanılır; bunlar ısındığında toksik etkilere sahip olurlar. Kızılötesi yöntemde ise dalga boyunu ayarlayabiliriz. Işığın enerjisini, yapıştırıcının veya foto direnç malzemesinin emmesi gereken düzeye getirebiliriz. Bu sayede hassas bileşenler yanmadan malzemeler mükemmel şekilde kurutulur. Hiçbir zararlı madde oluşmaz; sadece temiz bir işlem gerçekleşir.
Zorluklar
Ancak kızılötesi yöntemi de mükemmel bir çözüm değildir. Bazı zorlukları vardır. En büyük sorun, termal homojenliktir. Eğer wafer’in farklı kalınlıkları varsa veya farklı malzemelerden oluşuyorsa, ısınma dengesizliği yaşanır. Kenarların yanmaması için sensörler ve PID kontrol cihazlarını dikkatlice seçmek gerekir. Uzaklık ve güç arasında doğru dengeyi bulmak önemlidir.