MEMS waferlerini sorunsuz bir şekilde kurutmak mümkün.
MEMS sensörleri üretirken nem büyük bir düşmandır. Ancak sadece ısı kullanarak bu durumu çözmeye çalışmak yeterli değildir; aşırı ısı stresi veya küçük bir kirlilik bile pahalı waferleri işe yaramaz hale getirebilir.
İşte bu yüzden yüksek intensiteli kızılötesi ısıtıcılar kullanıyoruz. Bunlar işleri hızlıca halleder. Artık ağır konveksiyon fırınlarının işini yapmasını beklemek zorunda değilsiniz; bu sayede hem çok fazla alan tasarrufu sağlanır hem de üretim süreleri kısalar.
Asıl mesele güç seviyesidir.
Kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar kullanıyoruz; çünkü bu ışınlar sensör yüzeyindeki sıvı tabakasını kolayca delip geçer. Yüksek güç yoğunluğu sayesinde su, ısıya temas ettiği anda hemen buharlaşır. Eğer bu gerçekleşmezse, su lekeleri oluşur. MEMS dünyasında su lekeleri, devreler için ölüm fermanı demektir.
Elbette bir denge gerekiyor. Daha yüksek güç, daha hızlı işlem anlamına gelir; ancak bu durumda güç dağıtım sisteminin bu yükü kaldırabilmesi gerekir. Kendi ihtiyaçlarınıza uygun en uygun güç seviyesini bulmak önemlidir.
Üretimi “akıllı” hale getirmek…
Günümüzde herkes daha fazla veri istiyor. Kızılötesi sistemlerimizin mevcut ekipmanlarınızla uyumlu çalışmasını sağlıyoruz. PID kontrol cihazları ve gerçek zamanlı sensörler kullanarak her bir waferin durumunu takip edebiliyoruz. Bu sistemler sayesinde bir lambanın ışığı azaldığında veya bir sensörün çalışması bozulduğunda hemen haberdar oluyorsunuz. Böylece tüm waferlerin boşa gitmesini engellemiş oluyorsunuz.
Donanımın karmaşık gerçekleri…
Bu sistemler 24/7 üretim ortamlarında çalışıyor ve bu durum donanım üzerinde büyük baskı yaratıyor. Işığın saflığını korumak için kuvars kaplamalar ve özel filamentler kullanıyoruz; ancak yine de donanım zarar görebiliyor.
Ayrıca kızılötesi ışınların yönü çok önemlidir. Eğer lambalar birkaç milimetre kadar yanlış yerdeyse, 200mm veya 300mm’lik waferlerde soğuk bölgeler oluşur. Bu da eşitsiz kuruma sonucuna yol açar ve sorunlara neden olur.
Üstelik tüm bu ısı akışının bir yere gitmesi gerekir. Eğer chasisin soğutma sistemi doğru şekilde ayarlanmamışsa, ısıtıcının etrafındaki elektronik parçalar zarar görebilir. Bu oldukça hassas bir denge gerektirir; ancak doğru şekilde ayarlandığında her şey yolunda gider.