Trong quy trình in ấn bằng phương pháp quang học, các tấm wafer kích thước 300mm không thể chỉ đơn giản chờ đợi cho đến khi thiết bị sưởi ấm hoạt động ổn định. Các quy trình sưởi ấm mềm và cứng giúp kiểm soát nhiệt độ; nếu nhiệt độ không ổn định hoặc không đồng đều, việc kiểm soát độ dày của lớp phim sẽ trở nên khó khăn. Chúng tôi đã chế tạo ra ống sưởi ấm bằng tia hồng ngoại có tuổi thọ cao nhằm loại bỏ những yếu tố gây biến động nhiệt độ này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật:
Ống sưởi ấm này sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại bước sóng ngắn bên trong vỏ thủy tinh; nhờ đó, việc sưởi ấm diễn ra nhanh chóng và hiệu quả. Độ ổn định nhiệt độ trong khu vực sưởi ấm được duy trì ở mức ±0,1°C, tức là mỗi tấm wafer đều nhận được cùng một mức nhiệt độ. Hiệu suất hoạt động của ống sưởi ấm vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ sử dụng, với mức suy giảm cường độ ánh sáng dưới 5%. Thiết kế của ống sưởi ấm phù hợp với môi trường làm việc thuộc loại Class 1–100; việc lắp ráp cũng không gây ra bất kỳ chất gây ô nhiễm nào trong quá trình hoạt động.
Tại sao ống sưởi ấm này lại phù hợp cho công nghiệp sản xuất:
Ống sưởi ấm này được thiết kế để phục vụ cho toàn bộ quy trình sản xuất, chứ không chỉ đơn thuần để kiểm soát nhiệt độ. Trong quy trình xử lý phim quang học, ống sưởi ấm giúp tạo ra độ dày lớp phim một cách đồng đều, ngay cả khi có sự thay đổi về số lượng lô sản xuất. Nhờ đó, tỷ lệ sản phẩm thành phẩm cao hơn, số lượng tấm wafer bị hư hỏng do sai lệch nhiệt độ giảm đi, và việc bảo trì cũng trở nên dễ dàng hơn. Năng lượng tiêu thụ cũng giảm xuống, vì hệ thống chỉ sưởi ấm khi cần thiết và duy trì nhiệt độ ổn định mà không gây ra sự dao động quá mức.
Một vài lưu ý thực tế:
Việc lắp đặt và điều chỉnh ống sưởi ấm đòi hỏi độ chính xác cao. Ống sưởi ấm phải được lắp đặt trong khoảng cách được quy định bởi thiết bị; nếu không, sẽ xuất hiện những điểm nóng và làm mất đi tính đồng đều của nhiệt độ. Sau mỗi lần khởi động, ống sưởi ấm cần được nung nóng trong một khoảng thời gian ngắn trước khi hoạt động ổn định. Hãy lên kế hoạch thay thế ống sưởi ấm đúng thời hạn để đảm bảo thiết bị hoạt động liên tục. Trước khi đưa thiết bị vào sử dụng, hãy kiểm tra xem điện áp và cổng kết nối có phù hợp với thông số kỹ thuật của thiết bị hay không.