Out on the fab floor, bạn biết một sự dịch chuyển nhiệt độ nướng 0.5°C có thể ảnh hưởng nhanh thế nào đến profile photoresist. Chỉ một đột biến hạt bụi, và bạn sẽ phải loại bỏ rất nhiều sản phẩm. Chúng tôi đã thiết kế một module gia nhiệt hồng ngoại phân vùng để giữ cho hành vi nhiệt độ ổn định — đúng tại nơi cần thiết, trong từng bước phụ thuộc nhiệt.
What it’s doing under the hood
Module vận hành các emitter hồng ngoại sóng ngắn theo các vùng điều khiển độc lập. Mỗi vùng báo cáo nhiệt độ vòng kín với độ ổn định điểm đặt ±0.1°C, để cùng một công thức luôn cho kết quả giống nhau, lô này qua lô khác. Phản hồi đủ nhanh để theo dõi ngân sách nhiệt giữa các wafer mà không bị vượt nhiệt. Thiết kế phù hợp cho phòng sạch Class 1–100, và vùng nóng được cách ly để lượng hạt phát sinh giữ ở mức nền. Chúng tôi tập trung vào tính lặp lại vì lithography và packaging nhạy cảm với dịch chuyển nhỏ trong việc truyền năng lượng, không chỉ nhiệt độ đỉnh.
Where it earns its keep
Trong quá trình sấy và làm sạch wafer, nhiệt phân vùng loại bỏ độ ẩm mà không gây stress nhiệt. Trong xử lý photoresist, soft bake và hard bake cho kết quả lặp lại trên toàn wafer, giúp kiểm soát kích thước quan trọng chặt chẽ hơn và làm sạch profile thành bên. Trong packaging, cùng module này cung cấp quá trình đóng rắn nhanh, đồng đều cho encapsulants và underfills — rút ngắn chu trình trong khi vẫn đạt điểm gel và chuyển pha thủy tinh. Lợi ích là giảm số lô cần làm lại, các cửa sổ thông số giữ ổn định, và giảm tiêu thụ năng lượng do nhiệt chỉ được áp dụng đúng nơi và đúng lúc cần thiết.
The practical details
Module được lắp đặt vào các đường ray và máy ép hiện có, nhưng cần nguồn cấp điện riêng và luồng khí sạch, mát để duy trì tuổi thọ và độ ổn định của emitter ở mức yêu cầu. Lập kế hoạch chạy hiệu chuẩn ngắn để lập bản đồ đầu ra emitter so với phản hồi cảm biến ở nhiệt độ quy trình. Sau khi hiệu chuẩn, module giữ ổn định với độ trôi tối thiểu. Chỉ cần đảm bảo số vùng phù hợp với hình dạng nền — vùng quá lớn có thể làm mất tính linh hoạt khi vận hành sản phẩm hỗn hợp.