Trong quy trình sản xuất wafer, những chiếc hộp chứa vật liệu còn ẩm không chỉ gây ra tình trạng tắc nghẽn, mà còn là nguyên nhân gây ô nhiễm. Hơi ẩm dư thừa sẽ dẫn đến các khuyết tật trên bề mặt vật liệu, và điều này có thể ảnh hưởng tiêu cực đến chất lượng sản phẩm. Phương pháp sấy thông thường tạo ra sự chênh lệch nhiệt độ, khiến hơi nước tích tụ ở các mép và góc của hộp chứa. Do đó, cần có thiết bị sấy có khả năng sấy toàn bộ vật liệu bên trong hộp, chứ không chỉ phần giữa.
Sấy bằng tia hồng ngoại: Độ đồng đều cao, có thể lặp lại được
Chúng tôi đã thiết kế thiết bị sấy này dựa trên nguyên lý phát xạ tia hồng ngoại được kiểm soát chặt chẽ, cùng với trường nhiệt độ đồng đều ở mức dưới một milimét. Kết quả là nhiệt độ trong toàn bộ khu vực chứa vật liệu luôn ổn định, ngay cả khi cấu hình vật liệu thay đổi. Các bước xử lý vật liệu bằng tia hồng ngoại đòi hỏi sự ổn định về nhiệt độ; thiết bị này đáp ứng được yêu cầu đó, từ chu kỳ này sang chu kỳ khác. Thiết bị này hoạt động tốt trong môi trường phòng sạch loại 1–100, không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào trong quá trình hoạt động, và mô hình nhiệt độ được tạo ra hoàn toàn có thể được lặp lại để kiểm soát quy trình sản xuất một cách chính xác.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình sản xuất wafer?
Trong quy trình in ấn và xử lý vật liệu bằng tia hồng ngoại, chất lượng sản phẩm phụ thuộc vào sự ổn định về nhiệt độ. Thiết bị sấy này giúp loại bỏ hơi ẩm khỏi các hộp chứa vật liệu một cách nhanh chóng, mà không gây ra hiện tượng sốc nhiệt, đồng thời không tạo ra các giọt nước nhỏ không tan chảy đều. Nhờ vậy, tốc độ sản xuất tăng lên, số lượng sản phẩm phải tái xử lý giảm đi, và lượng vật liệu thải cũng giảm. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm xuống, vì tia hồng ngoại làm nóng trực tiếp vật liệu, chứ không phải không khí xung quanh. Thiết bị này được thiết kế để hoạt động 24/7, với khoảng thời gian bảo trì dự đoán được, và không gây ra tình trạng ngừng hoạt động bất ngờ.
Hướng dẫn lắp đặt và vận hành
Thiết bị này có thể được lắp đặt vào các bàn làm việc hiện có, nhưng bạn cần có một mạch điện riêng và hệ thống thoát khí phù hợp để duy trì áp suất trong phòng sạch. Hãy kiểm tra xem vật liệu chế tạo hộp chứa có tương thích với tia hồng ngoại hay không – một số loại polyme hấp thụ tia hồng ngoại theo cách khác nhau. Sau đó, hãy thiết lập các thông số quy trình thông qua một vài chu kỳ thử nghiệm ngắn, để xác định thời gian và nhiệt độ phù hợp. Một khi đã được điều chỉnh, thiết bị sẽ hoạt động với độ đồng đều cao, đáp ứng được yêu cầu của quy trình sản xuất.