Hãy ngừng đoán mò về nhiệt độ: Nhận được dữ liệu nhiệt độ chính xác trong phòng sản xuất
Nếu bạn muốn biến phòng sản xuất của mình thành một hệ thống “ thông minh”, chắc hẳn bạn đã nhận ra rằng việc dựa vào các con số ước lượng không thể mang lại kết quả chính xác. Việc dựa vào các con số ước lượng giống như việc đánh cược vậy. Chúng ta cần từ bỏ cách làm này và sử dụng các thiết bị cảm biến IR hiệu suất cao cùng các loại nhiệt kế chính xác.
Điều này không phải để có một bảng điều khiển đẹp mắt cho người quản lý xem. Mục đích là để có thể biết chính xác những gì đang xảy ra trong thời gian thực, từ đó tránh lãng phí những tấm wafer đắt tiền.
Thực tế về việc thu thập dữ liệu nhiệt độ
Chúng ta sử dụng hệ thống IR để thu thập dữ liệu nhiệt độ, vì chúng không cần chạm vào sản phẩm. Trong môi trường chân không, việc sử dụng các thiết bị cảm biến vật lý là điều nguy hiểm – chúng có thể làm ô nhiễm mọi thứ hoặc làm rối loạn dòng khí trong phòng sản xuất.
Nhưng vấn đề là tốc độ phản ứng của các thiết bị cảm biến rất quan trọng. Nếu thiết bị cảm biến hoạt động chậm, nhiệt độ sẽ vượt quá mức cho phép. Khi bộ điều khiển nhận ra nhiệt độ đã tăng quá mức, lúc đó bề mặt wafer đã bị tổn thương rồi. Đó là lý do tại sao chúng ta cần sử dụng các thiết bị cảm biến có trọng lượng nhiệt thấp. Chúng ta cần dữ liệu được thu thập trong vài毫giây, nếu không toàn bộ quy trình sẽ thất bại.
Đối phó với nhiễu điện tử
Việc kết nối các thiết bị cảm biến trong phòng sản xuất giống như cuộc chiến chống lại nhiễu điện tử. Các bộ sưởi công suất lớn tạo ra lượng nhiễu điện tử rất lớn.
Để giữ cho tín hiệu luôn ổn định, chúng ta sử dụng cáp có lớp bảo vệ và kỹ thuật bù trừ nhiễu. Nếu việc kết nối đất bị sai lệch dù chỉ một chút, dữ liệu thu được sẽ bị sai lệch. Lúc đó, phần mềm sẽ xử lý những dữ liệu sai lệch, và toàn bộ quy trình chuyển đổi số sẽ trở nên vô nghĩa.
Sự cân bằng giữa độ chính xác và tuổi thọ
Sự thật về các thiết bị cảm biến có độ chính xác cao là chúng dễ bị hư hỏng. Bạn luôn phải cân nhắc giữa độ nhạy của thiết bị và thời gian sử dụng của nó. Thuật toán càng nhạy bén, thiết bị càng nhanh bị hư hỏng do các tác động nhiệt.
Vì vậy, chúng tôi khuyến nghị nên thay thế các thiết bị cảm biến này mỗi sáu tháng một lần. Nếu bạn cần độ chính xác cực cao để đảm bảo tính đồng đều của các tấm wafer 300mm, bạn không thể tin tưởng vào các thiết bị cảm biến đã hoạt động trong nhiều năm.
Bí quyết là đảm bảo rằng đội ngũ bảo trì có thể thay thế các thiết bị cảm biến một cách nhanh chóng, mà không làm ảnh hưởng đến độ chính xác của quy trình sản xuất. Đó là một công việc khó khăn, nhưng đó là cách duy nhất để giữ cho quy trình sản xuất hoạt động ổn định.