Điều chỉnh nhiệt độ một cách chính xác trong nhà máy thông minh của bạn
Nếu bạn đang xây dựng một nhà máy theo tiêu chuẩn Industry 4.0, chắc hẳn bạn đã nhận ra rằng phương pháp sưởi ấm truyền thống không còn phù hợp nữa.
Vấn đề là: trong môi trường chân không, hiện tượng luồng khí di chuyển để truyền nhiệt sẽ không xảy ra. Bạn không thể dựa vào không khí để truyền nhiệt. Lúc này, phương pháp duy nhất là sử dụng bức xạ nhiệt. Đó chính là điểm khó khăn. Vì vậy, chúng ta sử dụng các hệ thống sưởi bằng tia hồng ngoại có mật độ cao. Những hệ thống này giúp truyền năng lượng đến đúng vị trí cần thiết để xử lý wafer và phủ lớp mỏng lên bề mặt wafer, mà không gây ra sự chậm trễ như các bộ phận sưởi truyền thống.
Không còn tình trạng “sưởi quá mức” nữa
Hầu hết các bộ sưởi thông thường đều hoạt động một cách ngẫu nhiên; chúng chỉ tạo ra nhiệt và hy vọng mọi thứ sẽ diễn ra tốt đẹp. Chúng tôi thì làm khác: chúng tôi kết hợp các bóng đèn hồng ngoại với bộ điều khiển PID và công nghệ đo nhiệt độ theo thời gian thực. Điều này giúp bạn có thể biết được mức nhiệt độ trong buồng trong vài miligiây. Bằng cách sử dụng SCR để điều chỉnh công suất, bạn có thể thay đổi lượng nhiệt được truyền đi một cách tức thì. Không còn tình trạng nhiệt độ vượt quá mức nữa. Không cần phải đoán mò nữa. Mức nhiệt trong buồng sẽ luôn được kiểm soát chính xác.
Công suất vs. Độ chính xác
Trong môi trường chân không, bạn phải đối mặt với những gradient nhiệt độ rất lớn. Để xử lý tình trạng này, chúng tôi sử dụng công nghệ quartz-halogen để tăng công suất sưởi lên mức cao trong một không gian nhỏ. Điều này giúp giảm thời gian khởi động và rút ngắn thời gian xử lý. Nhưng cũng có một nhược điểm: các bóng đèn có công suất cao sẽ rất nóng ở các đầu. Nếu bạn sử dụng các bộ tản nhiệt kém chất lượng, bạn sẽ gặp vấn đề với các chi tiết kim loại trong buồng. Hãy tin tôi, bạn chắc chắn không muốn gặp phải tình trạng đó. Giải pháp duy nhất là sử dụng bộ tản nhiệt chất lượng cao.
Một hệ thống có thể phát triển theo nhu cầu của bạn
Điểm tốt nhất của việc sử dụng các mảng sưởi hồng ngoại là bạn có thể điều chỉnh kích thước các vùng sưởi theo nhu cầu. Bạn có thể kết nối các bộ sưởi riêng biệt để giải quyết vấn đề “mất nhiệt ở các mép” trên các wafer lớn. Điều này giúp hệ thống trở nên linh hoạt hơn. Nếu bạn cần thay đổi mức nhiệt, bạn chỉ cần điều chỉnh phần mềm. Bạn không cần phải thay thế thiết bị hay mất thời gian để xây dựng lại buồng sưởi. Như vậy, hệ thống sưởi của bạn sẽ trở thành một công cụ mà bạn có thể lập trình được, chứ không chỉ là một bộ phận kim loại cứng nhắc.