Bộ gia nhiệt sấy wafer tự động

Trên dây chuyền sản xuất, không thể chấp nhận sai lệch. Quá trình soft bake mà lệch chỉ một phần nhỏ độ trên toàn bộ wafer sẽ thể hiện rõ trong hồ sơ...