Як висушити пластини MEMS без проблем
Під час виробництва датчиків MEMS волога є серйозним ворогом. Але не можна просто піддавати їх впливу високої температури – надмірний тепловий стрес чи навіть незначне забруднення можуть зробити з дорогої пластини марну річ.
Саме тому ми використовуємо нагрівачі на інфрачервоних хвилях високої потужності. Вони швидко виконують свою функцію. Не потрібно чекати, поки конвективні печі виконають свою роботу – це дозволяє заощадити багато простору та скоротити час обробки.
Ключ до успіху – це потужність.
Ми використовуємо короткочастотне інфрачервоне випромінювання, оскільки воно ефективно проникає крізь шар рідини на поверхні датчика. Ми прагнемо до високої щільності потужності, щоб вода могла швидко випаруватися при контакті з теплом. Якщо цього не відбувається, утворюються плями води. А у світі MEMS такі плями є смертним вироком для електроніки.
Звісно, існує баланс. Більша потужність означає швидшу обробку, але це також вимагає, щоб система живлення могла впоратися з таким навантаженням. Потрібно знайти оптимальний варіант для конкретних умов виробництва.
Робимо процес виробництва „розумнішим“
У наш час всі хочуть отримувати більше даних. Ми стежимо за тим, щоб наші інфрачервоні системи ефективно взаємодіяли з вашим обладнанням. Ми використовуємо контролери типу PID та сенсори, які можуть підключатися безпосередньо до системи керування виробництвом. Це своєрідний цифровий запис для кожної пластини. Якщо лампа починає слабшати чи сенсор виходить з ладу, система негайно повідомляє про це. Це значно краще, ніж дізнаватися про проблеми вже після того, як була зіпсована ціла партія пластин.
Проблеми, пов’язані з апаратурою
Ці системи працюють 24/7, і це створює значні навантаження на обладнання. Ми використовуємо кварцові корпуси та спеціальні філаменти, щоб зберегти чистоту світла, але все одно обладнання піддається значному навантаженню. Крім того, оскільки інфрачервоне випромінювання є напрямленим, правильна налаштування є ключовою. Якщо лампи розташовані на відстані кількох міліметрів, на пластині будуть утворюватися „холодні зони“. Це призводить до нерівномірного висихання, що, у свою чергу, створює проблеми.
Крім того, весь тепловий потік мусить піти кудись. Якщо система охолодження не налаштована правильно, електроніка, яка знаходиться поруч з нагрівачем, може постраждати. Це делікатний баланс, але коли він досягнутий, все працює належним чином.