Як зменшити викиди вуглецю на заводі з виробництва напівпровідників, не погіршуючи при цьому якість продукції
Будемо чесні: досягнення цілей щодо нульових викидів вуглецю на заводах з виробництва напівпровідників – це складна задача. Велика частина енергії витрачається під час нагрівання та обробки пластин. Це просто неефективно. Саме тому ми переходимо на використання точного інфрачервоного нагріву. Ми знайшли спосіб значно зменшити споживану енергію та скоротити час обробки, шляхом більш розумного застосування тепла.
Нагрівання саме там, де це необхідно
Якщо температура на поверхні пластини не є однорідною, у вас є проблема. Але не можна просто посилити нагрівання та сподіватися на краще – інакше краї пластини будуть пошкоджені.
Ми використовуємо джерела короткохвильового інфрачервоного випромінювання – вони дуже швидкі. Замість того, щоб нагрівати всю камеру, як у величезній повільній печі, тепло потрапляє безпосередньо на поверхню пластини. Таким чином ми уникаємо марного витрачання енергії на повітря навколо пластини та зосереджуємося лише на самій пластині. Це набагато ефективніший спосіб роботи.
Перестаньте припускати, почніть вимірювати
Лампа для нагрівання є марною, якщо ви не знаєте, що вона робить. Саме тому ми вбудовуємо в систему високошвидкісні інфрачервоні датчики.
Це схоже на розмову: датчик стежить за пластиною в реальному часі та повідомляє лампі, коли потрібно зменшити інтенсивність нагрівання, як тільки досягається потрібна температура. Більше немає проблем з перевищенням температури та марним витрачанням енергії через повільну реакцію системи.
Чесна правда про „зелені“ оновлення
Щоб стати „зеленим“ заводом, не достатньо просто перемкнути вимикач. Ці лампи виробляють велику кількість тепла. Не можна просто замінити старий нагрівач та все закінчити.
Потрібно також подбати про систему охолодження. Якщо вона не може впоратися з таким навантаженням, датчики почнуть давати неточні дані. А коли це станеться, однорідність температури зникне. Це компроміс, який потрібно враховувати.
Ми намагаємося зробити ці заміни максимально простими. Шляхом оптимізації процесу нагрівання та скорочення часу його розгортання ми зменшуємо загальне споживання енергії на одну пластину. Це простий спосіб зменшити викиди вуглецю в чистих приміщеннях, не погіршуючи при цьому якість продукції.