Сокращение выбросов углерода на производстве полупроводников без снижения эффективности производства
Честно говоря, достижение целей по снижению углеродного следа на заводах по производству полупроводников — это сложная задача. Огромное количество энергии тратится на нагрев и отверждение пластин. Это просто неэффективно. Поэтому мы используем технологию точного нагрева с помощью инфракрасных излучателей. Мы нашли способ сократить потребление энергии и ускорить процесс нагрева за счет более точного контроля над процессом нагрева.
Точный нагрев в нужных местах
Если температура на поверхности пластины неоднородна, это проблема. Нельзя просто увеличить мощность нагрева в надежде на лучший результат — иначе можно повредить края подложки. Мы используем излучатели коротковолнового инфракрасного излучения, так как они работают очень быстро. Вместо того чтобы нагревать всю камеру, как в большой медленной печи, тепло попадает непосредственно на поверхность пластины. Таким образом, энергия не тратится впустую на воздух вокруг детали, а сосредотачивается на самой детали. Это гораздо более эффективный способ работы.
Прекратите гадать, начните использовать датчики
Лампа нагрева бесполезна, если вы не знаете, что она делает. Поэтому мы встрояем в систему высокоскоростные инфракрасные датчики. Они следят за температурой пластины в реальном времени и сообщают лампе, когда нужно снизить мощность нагрева, как только достигается целевая температура. Таким образом, не будет перегрева, а значит, не будет лишнего расхода энергии.
Честная правда о «зеленых» технологиях
Дело в том, что переход на «зеленые» технологии не так прост, как кажется. Эти лампы выделяют много тепла. Нельзя просто заменить старый нагреватель и считать, что все в порядке. Необходимо учитывать эффективность системы охлаждения. Если она не справляется с такой нагрузкой, датчики начнут давать ошибочные данные. И тогда температурное равномерие исчезает. Это компромисс, с которым приходится считаться. Мы стараемся сделать так, чтобы новые устройства можно было просто заменить на старые. Сокращая время нагрева, мы снижаем общее потребление энергии на единицу продукции. Это простой способ сократить углеродный след на производстве, не снижая при этом эффективность производства.