На производственной линии все происходит по установленным правилам: пластина выходит из устройства для промывки, но на ней все еще остается несколько микролитров воды. Для удаления этой влаги требуется время – несколько минут. Каждая минута увеличивает время обработки. Что еще хуже, неравномерное нагревание может привести к тепловым напряжениям, что проявляется в искажении формы пластины. Сушилка для пластин в диапазоне ближнего инфракрасного света была создана именно для решения этих проблем.
Что имеет значение с технической точки зрения
Энергия ближнего инфракрасного света воздействует непосредственно на воду и фотополимер, поэтому поверхность пластины достигает заданной температуры за несколько секунд, без необходимости ожидания распространения тепла. Равномерность температуры на всей поверхности пластины сохраняется в пределах ±0,1°C, а стабильность параметров при разных партиях продукции – в пределах ±0,2°C. Для нагрева используются кварцевые галогенные излучатели, настроенные на диапазон ближнего инфракрасного света. Температура контролируется с помощью системы закрытого цикла измерения прямо на поверхности пластины.
Количество частиц, образующихся в процессе обработки, также остается на низком уровне. Камера соответствует стандартам класса 1–100; в ней обеспечивается однонаправленный поток воздуха, а выхлопные газы фильтруются с помощью фильтров типа HEPA. Безконтактные зажимы позволяют сохранять чистоту передней поверхности пластины – нет никаких механических повреждений.
Почему это подходит для производственных целей
Необходимо использовать сушилку, которая может быть установлена между устройством для вращения пластины и устройством для литографии, не нарушая при этом всю конструкцию оборудования. Это устройство занимает небольшое пространство, работает через стандартные интерфейсы SECS/GEM и может функционировать круглосуточно без перебоев. В программе обработки предусмотрены профили мягкого и жесткого нагрева, поэтому при изменении характеристик продукта операторам не нужно перенастраивать параметры нагрева.
Потребление энергии снижается, так как NIR-излучение нагревает только целевую область, а не всю пластину. Температура фотополимера остается в пределах допустимых значений, что снижает отклонения в размерах пластины и уменьшает количество необходимых корректировок.
Что необходимо учесть при планировании
Сушилке в диапазоне ближнего инфракрасного света требуется отдельный источник питания и система охлаждения для поддержания стабильной температуры. Она может работать с большинством устройств для обработки пластин диаметром 300 мм, но при установке все равно необходимо проверить механические соединения и систему вытяжки воздуха.
Для проведения тестов и настройки устройства потребуется примерно две недели. После этого процесс будет работать стабильно и предсказуемо.