На линии 300 мм вы знаете, как все устроено: поддон выходит с мокрой стойки и все еще содержит микролитры застрявшей деионизированной воды. Если вы не удалите эту влагу до повторяемого сухого состояния, она перейдет в фоточувствительное вещество во время мягкой сушки. Допуски по диаметру начинают колебаться, и дефекты начинают проявляться на сканере. Сушилка для поддонов была разработана, чтобы остановить эту цепную реакцию на входе.
Что действительно важно внутри устройства Мы спроектировали сушилку на основе термальной системы высокой чистоты, которая обеспечивает однородность на уровне поддона в пределах ±0.1°C. Элементы NIR нагреваются быстро и без контакта, поэтому влага удаляется без термической задержки. Путь высокоэффективной фильтрации поддерживает генерацию частиц на нулевом уровне и сохраняет условия в камере в соответствии с чистыми помещениями класса 1–100. Результатом является повторяемый контроль температуры для процессов сушки фоточувствительного вещества и повторяемое сухое состояние, цикл за циклом.
Вот почему это важно в литографии: тепловой бюджет не является опциональным. Мягкая и жесткая сушки должны проходить в пределах спецификации, чтобы задать вязкость, адгезию и шероховатость краев линий должным образом. Когда остаточные растворители и влага добавляют переменные, ваши распределения расширяются, и партии на доработку накапливаются. Эта сушилка устраняет эти переменные, так что вы работаете более эффективно, сокращаете брак и останавливаете сжигание партий на доработку. Платформа разработана для круглосуточной эксплуатации с акцентом на ноль непредвиденных простоев — предсказуемое обслуживание, предсказуемый выход.
Несколько практических замечаний. Сушилка интегрируется в существующие переходы от мокрой к сухой обработке, но важны коммунальные услуги на площадке. Планируйте выделенные пути для вытяжки и чистый, сухой сжатый воздух, чтобы поддерживать стабильность пути слива. В fabs с высокой влажностью небольшой предварительный этап кондиционирования влажности может помочь зафиксировать время цикла. Мы соответствуем интерфейсу соединителей вашему стандарту обработки поддонов, поэтому установка остается простой и вы не нарушаете непрерывность процесса.