На производственном участке влажные кассеты представляют собой не просто препятствие для работы оборудования – они также являются источником возможного загрязнения. Оставшаяся влага приводит к дефектам на поверхности кассет, а даже небольшое количество влаги может значительно снизить качество готовой продукции. Традиционные методы сушки создают температурные градиенты, из-за которых вода остается в углах и по краям кассет. Необходимо использовать такой сушильник, который сушит всю кассету целиком, а не только её центральную часть.
Инфракрасное нагревание: однородность до субмиллиметрового уровня, повторяемость результатов
Мы разработали этот инфракрасный сушильник для очистки кассет на основе контролируемого излучения в инфракрасной области спектра и создания однородного температурного поля до субмиллиметрового уровня. Это позволяет достичь стабильной температуры на всей площади кассеты, даже при изменении её конфигурации. Этот сушильник обеспечивает стабильность температуры на протяжении всего процесса обработки. Он соответствует стандартам чистых помещений класса 1–100, не создает никаких частиц во время работы, а параметры нагрева полностью воспроизводимы для контроля качества процесса.
Почему это важно в производстве пластин
В процессах литографии и обработки фоторезиста качество продукции зависит от стабильности температуры. Этот сушильник быстро удаляет влагу из очищенных кассет без возникновения температурных шоков, а также без образования капель воды, которые могут неравномерно испаряться. Это позволяет повысить скорость обработки, сократить количество переработок и отходов. Также снижается потребление энергии, поскольку инфракрасное излучение нагревает сам объект обработки, а не окружающий воздух. Сушильник предназначен для круглосуточной работы с предсказуемыми интервалами технического обслуживания и без неожиданных простоев.
Установка и эксплуатация
Устройство можно установить на существующие станции для обработки кассет. Однако требуется отдельная электрическая сеть и правильная система вентиляции для поддержания необходимого давления в чистом помещении. Необходимо также учитывать совместимость материала кассет – некоторые полимеры поглощают инфракрасное излучение по-разному. После калибровки устройство будет функционировать с необходимой степенью повторяемости.