На этапе упаковки даже небольшое изменение температуры в половину градуса может привести к порче всей партии изделий. Изменяются параметры фотополимерной пленки, появляются пустоты под слоем заполнителя; это замедляет процесс рeworkingа и сокращает производственную мощность. Устройства типа CSP работают при более строгих температурных ограничениях, чем обычные упаковочные устройства; поэтому нагреватель должен быть надежным элементом, на котором можно положиться.
Что имеет значение внутри устройства
Мы спроектировали этот нагреватель так, чтобы обеспечить точное контролируемое тепловыделение: отклонение температуры не должно превышать ±0,1°C в рабочей зоне, измеряемой на самой поверхности кристалла, а не только на датчике. Быстрое достижение нужной температуры позволяет сократить время обработки без ухудшения качества продукции. Устройство может использоваться в чистых комнатах класса 1–100; материалы и конструкция предотвращают образование частиц – нет выделения газов, отсутствует коррозия, нет загрязнений, с которыми приходится бороться после каждой процедуры нагрева. Устройство рассчитано на круглосуточную работу без перерывов.
Почему оно подходит для процессов CSP
В процессах CSP нагреватель напрямую определяет условия мягкого и жесткого нагрева, способствует затвердеванию полимера и формированию правильных условий для заполнителя. Благодаря высокой степени однородности температуры контроль ширины линий на поверхности кристалла остается в пределах допустимых значений, а параметры сцепления сохраняются стабильными между разными партиями продукции. Упаковка, соответствующая требованиям чистых комнат, и минимальное количество частиц способствуют сохранению качества продукции в процессе литографии и проверки после нагрева. Кроме того, благодаря быстрому и точному контролю температуры снижается потребление энергии – меньше избыточного нагрева, меньше времени на стабилизацию температуры, меньше расточительства электроэнергии.
Практические рекомендации перед покупкой
Нагреватель может быть использован в существующих устройствах CSP, но интерфейс и механические характеристики должны соответствовать размерам устройства и кристалла. Необходимо провести краткие испытания: определить температуру по всей поверхности кристалла, а затем задать оптимальные параметры работы. Есть одно ограничение – максимальная толщина кристалла зависит от модели устройства; поэтому необходимо уточнить размеры кристалла перед покупкой.