Op een lijn van 300 mm is al een afwijking van een halve graad tijdens het verhitten van de fotoresist voldoende om een hele lading producten te verpesten. We hebben deze halfgeleider-infraroodverwarmingslampen ontwikkeld om dit te voorkomen – niet door middel van reclame, maar door middel van betrouwbaar thermisch gedrag dat ook in een echte productieomgeving standhoudt.
Wat belangrijk is onder de motorkap
De lampen maken gebruik van kortegolflengte-infraroodelementen met een snelle reactietijd en nauwkeurige spectrale controle. Hierdoor gaat de energie rechtstreeks naar het gewenste doelgebied, in plaats van verspild te worden in de ruimte. Over het oppervlak van de wafer heen wordt er sprake van een constante temperatuur van ±0,1°C, gemeten op de plekken waar het echt belangrijk is – namelijk op de plekken die relevant zijn voor het productieproces. De geschiktheid voor gebruik in een schone productieruimte wordt serieus genomen: de constructie maakt gebruik van materialen die voldoen aan de normen van klasse 1–100, lijmstoffen met minimale uitstoot, en een ontwerp dat zorgt voor een beperkte uitstoot van deeltjes. U kunt rekenen op herhalbaarheid tussen verschillende ladingen, zonder dat u constant de instellingen hoeft aan te passen.
Waarom dit nuttig is in de lithografie
Het proces rondom de fotoresist is sterk afhankelijk van de thermische omstandigheden. Deze lampen zorgen voor stabiele temperaturen tijdens het verhitten van de fotoresist, waardoor de controle over de cruciale dimensies verbetert en er minder herwerk nodig is. De snelle thermische reactietijd verkort de productietijd en verlaagt de totale energieverbruik. Bovendien wordt er minder energie verbruikt vergeleken met ovens met een groter verhittingsoppervlak. Deze precisie heeft ook invloed op de verpakking- en droogprocedures: minder gebreken, schone oppervlakken en een betrouwbare productiekwaliteit.
De praktische details
Er moet rekening worden gehouden met een aparte stroom- en koelsysteem. De thermische stabiliteit hangt af van een constante koeltemperatuur en een correcte positie van de lampen ten opzichte van het substraat. Het integreren van de lampen in bestaande systemen is eenvoudig, maar de optica en sensoren moeten worden aangepast aan de geometrie van het substraat. Voer eerst een testronde uit om het thermische profiel vast te stellen. Eenmaal ingesteld, blijft het proces stabiel.